| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·压电材料概述 | 第9-13页 |
| ·压电材料的发展史 | 第9-11页 |
| ·压电材料的性质和应用 | 第11-13页 |
| ·钛酸铋钠基无铅压电材料的研究现状 | 第13-15页 |
| ·薄膜制备技术 | 第15-17页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第17-18页 |
| ·本文的选题依据 | 第17页 |
| ·本文的主要工作 | 第17-18页 |
| 第2章 NBT-KBT-100x 压电薄膜的制备及分析测试方法 | 第18-30页 |
| ·CSD 法制膜设备及环境要求 | 第18-19页 |
| ·CSD 法制膜所需设备 | 第18-19页 |
| ·制备环境要求 | 第19页 |
| ·NBT-KBT-100x 薄膜的制备 | 第19-25页 |
| ·实验原料 | 第19-20页 |
| ·前驱体溶液的配制 | 第20-22页 |
| ·铂硅基底的清洗 | 第22页 |
| ·薄膜制备流程 | 第22-24页 |
| ·薄膜顶电极的制备 | 第24-25页 |
| ·NBT-KBT-100x 薄膜的分析测试方法 | 第25-29页 |
| ·XRD 和表面形貌分析测试方法 | 第25-26页 |
| ·铁电和漏电分析测试方法 | 第26-28页 |
| ·介电和压电分析测试方法 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 电极对NBT-KBT-15 薄膜微结构及性能的影响 | 第30-38页 |
| ·Pt 和LNO 电极上沉积的NBT-KBT-15 薄膜的微结构 | 第30-32页 |
| ·NBT-KBT-15 薄膜的晶体结构 | 第30-31页 |
| ·NBT-KBT-15 薄膜的表面形貌 | 第31-32页 |
| ·NBT-KBT-15 薄膜的漏电特性 | 第32-33页 |
| ·Pt 和LNO 电极上沉积的NBT-KBT-15 薄膜的铁电/介电性能 | 第33-34页 |
| ·NBT-KBT-15 薄膜的铁电特性 | 第33页 |
| ·NBT-KBT-15 薄膜的介电特性 | 第33-34页 |
| ·Pt 和LNO 电极上沉积的NBT-KBT-15 薄膜的压电特性 | 第34-36页 |
| ·压电蝴蝶回线与压电滞后回线 | 第34-35页 |
| ·NBT-KBT-15 薄膜的压电特性 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 组分对NBT-KBT-100x 薄膜微结构及性能的影响 | 第38-47页 |
| ·NBT-KBT-100x 薄膜的微结构 | 第39-40页 |
| ·XRD 晶体结构分析 | 第39-40页 |
| ·AFM 表面形貌分析 | 第40页 |
| ·组分对NBT-KBT-100x 薄膜漏电性能影响 | 第40-41页 |
| ·组分对NBT-KBT-100x 薄膜介电和压电影响 | 第41-44页 |
| ·组分对薄膜介电性能影响 | 第41-42页 |
| ·组分对薄膜压电性能影响 | 第42-44页 |
| ·组分x=0.15 的薄膜力学性能分析 | 第44-45页 |
| ·NBT-KBT-15 薄膜的压痕实验 | 第44页 |
| ·NBT-KBT-15 薄膜的弹性模量与硬度 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第5章 总结和展望 | 第47-49页 |
| ·全文总结 | 第47页 |
| ·工作展望 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 攻读学位期间发表的论文和成果 | 第54页 |
