| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-32页 |
| ·引言 | 第19-20页 |
| ·CVD 金刚石光学性能 | 第20-21页 |
| ·红外窗口金刚石涂层的研究现状 | 第21-29页 |
| ·红外窗口金刚石涂层的主要研究进展 | 第21-23页 |
| ·红外窗口金刚石涂层的优势 | 第23页 |
| ·CVD 金刚石涂层的制备方法 | 第23-26页 |
| ·热丝法制备红外窗口金刚石涂层的可行性 | 第26-27页 |
| ·目前存在的主要问题 | 第27-29页 |
| ·本文的研究基础及内容 | 第29-32页 |
| ·研究基础 | 第29-30页 |
| ·主要研究内容 | 第30-32页 |
| 第二章 摆动衬底温度场、空间流场仿真研究 | 第32-50页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·摆动衬底温度场、流场研究现状 | 第32-33页 |
| ·摆动衬底温度场仿真 | 第33-41页 |
| ·传热学理论及能量守恒定律在衬底温度场建模中的应用 | 第33-35页 |
| ·摆动衬底温度场模型及计算方法 | 第35-37页 |
| ·计算结果及分析 | 第37-41页 |
| ·摆动衬底空间流场仿真计算 | 第41-49页 |
| ·计算流体力学理论基础简介 | 第41-42页 |
| ·流体流动基本控制方程 | 第42-43页 |
| ·Fluent 软件求解问题的步骤 | 第43-44页 |
| ·摆动衬底表面气体流场有限元模型的建立 | 第44-46页 |
| ·仿真结果及讨论 | 第46-49页 |
| ·本章小节 | 第49-50页 |
| 第三章 EACVD 一体化系统的研制 | 第50-74页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·系统的功能设计 | 第50-70页 |
| ·系统原理 | 第50-52页 |
| ·系统总体设计方案 | 第52-55页 |
| ·机械系统设计 | 第55-63页 |
| ·控制系统设计 | 第63-70页 |
| ·EACVD 一体化系统的性能分析 | 第70-73页 |
| ·本章小节 | 第73-74页 |
| 第四章 红外窗口金刚石涂层透波、增透机理分析及红外透射率影响因素的研究 | 第74-91页 |
| ·引言 | 第74页 |
| ·红外光学薄膜系统的透波机理分析 | 第74-79页 |
| ·光学增透膜的增透机理分析 | 第79-83页 |
| ·影响金刚石涂层红外透射率的因素分析 | 第83-90页 |
| ·表面形貌对红外透射率的影响 | 第84-86页 |
| ·晶粒尺寸对红外透射率的影响 | 第86-87页 |
| ·杂质及缺陷对红外透射率的影响 | 第87-88页 |
| ·涂层厚度对红外透射率的影响 | 第88-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 第五章 微米及纳米金刚石红外透波涂层的研究 | 第91-114页 |
| ·引言 | 第91页 |
| ·金刚石涂层的表征方法 | 第91-92页 |
| ·金刚石涂层厚度的确定和控制 | 第92-101页 |
| ·金刚石成核的研究 | 第93-96页 |
| ·沉积工艺条件对金刚石生长速率的影响研究 | 第96-101页 |
| ·金刚石涂层的制备及红外透射率分析 | 第101-113页 |
| ·微米金刚石红外透波涂层的制备 | 第101-109页 |
| ·纳米金刚石涂层的制备 | 第109-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 第六章 金刚石红外透波复合涂层的研究 | 第114-131页 |
| ·引言 | 第114页 |
| ·原位沉积法制备金刚石复合涂层 | 第114-117页 |
| ·实验方案及实验参数 | 第114-115页 |
| ·实验结果及讨论 | 第115-117页 |
| ·交替沉积法制备金刚石复合涂层 | 第117-121页 |
| ·实验方案及实验参数 | 第117-118页 |
| ·实验结果及讨论 | 第118-121页 |
| ·石英玻璃衬底上金刚石涂层的制备 | 第121-122页 |
| ·实验方案及实验参数 | 第121页 |
| ·实验结果及讨论 | 第121-122页 |
| ·红外窗口金刚石涂层膜/基结合性能分析 | 第122-130页 |
| ·划痕法测试原理 | 第123页 |
| ·划痕实验设备与参数 | 第123-124页 |
| ·金刚石涂层残余应力的构成及测试方法 | 第124-126页 |
| ·划痕测试的实验结果与讨论 | 第126-130页 |
| ·本章小结 | 第130-131页 |
| 第七章 总结与展望 | 第131-135页 |
| ·全文总结 | 第131-134页 |
| ·本文完成的主要工作 | 第131-133页 |
| ·本文主要创新点 | 第133-134页 |
| ·展望 | 第134-135页 |
| 参考文献 | 第135-146页 |
| 致谢 | 第146-147页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第147页 |