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面向等离子体材料的溅射率研究

摘要第5-6页
Abstract第6页
第1章 绪论第10-16页
    1.1 核聚变研究意义第10-11页
    1.2 核聚变原理第11-12页
    1.3 面向等离子体材料第12-13页
    1.4 国内外研究现状第13-16页
第2章 研究方法及模型建立第16-23页
    2.1 分子动力学方法第16-19页
        2.1.1 分子动力学系综第16页
        2.1.2 原子势函数第16-18页
        2.1.3 周期性边界条件第18页
        2.1.4 模拟算法第18-19页
        2.1.5 模拟步骤第19页
    2.2 蒙特卡罗方法第19-20页
    2.3 模型建立第20-23页
        2.3.1 LAMMPS模型建立第20-22页
        2.3.2 SRIM模型建立第22-23页
第3章 溅射率的计算及分析第23-37页
    3.1 石墨计算结果及分析第23-27页
        3.1.1 入射能量对石墨溅射率的影响第23-25页
        3.1.2 基底温度对溅射率的影响第25-26页
        3.1.3 入射粒子种类对溅射率的影响第26页
        3.1.4 结论第26-27页
    3.2 碳化硅计算结果及分析第27-29页
        3.2.1 入射粒子能量对溅射率的影响第27-28页
        3.2.2 入射粒子种类对溅射率的影响第28页
        3.2.3 基底温度对溅射率的影响第28-29页
        3.2.4 结论第29页
    3.3 碳纤维增强碳化硅计算结果及分析第29-37页
        3.3.1 碳浓度对溅射率的影响第29-31页
        3.3.2 入射粒子种类对溅射率的影响第31-33页
        3.3.3 粒子入射能量对溅射率的影响第33-34页
        3.3.4 入射角度对溅射率的影响第34-35页
        3.3.5 基底温度对溅射率的影响第35-36页
        3.3.6 结论第36-37页
第4章 计算结果对比第37-40页
    4.1 入射粒子能量的对比第37-38页
    4.2 入射粒子种类的对比第38页
    4.3 基底温度的对比第38-40页
第5章 结论与展望第40-42页
    5.1 结论第40页
    5.2 展望第40-42页
参考文献第42-45页
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果第45-46页
致谢第46页

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