面向等离子体材料的溅射率研究
摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6页 |
第1章 绪论 | 第10-16页 |
1.1 核聚变研究意义 | 第10-11页 |
1.2 核聚变原理 | 第11-12页 |
1.3 面向等离子体材料 | 第12-13页 |
1.4 国内外研究现状 | 第13-16页 |
第2章 研究方法及模型建立 | 第16-23页 |
2.1 分子动力学方法 | 第16-19页 |
2.1.1 分子动力学系综 | 第16页 |
2.1.2 原子势函数 | 第16-18页 |
2.1.3 周期性边界条件 | 第18页 |
2.1.4 模拟算法 | 第18-19页 |
2.1.5 模拟步骤 | 第19页 |
2.2 蒙特卡罗方法 | 第19-20页 |
2.3 模型建立 | 第20-23页 |
2.3.1 LAMMPS模型建立 | 第20-22页 |
2.3.2 SRIM模型建立 | 第22-23页 |
第3章 溅射率的计算及分析 | 第23-37页 |
3.1 石墨计算结果及分析 | 第23-27页 |
3.1.1 入射能量对石墨溅射率的影响 | 第23-25页 |
3.1.2 基底温度对溅射率的影响 | 第25-26页 |
3.1.3 入射粒子种类对溅射率的影响 | 第26页 |
3.1.4 结论 | 第26-27页 |
3.2 碳化硅计算结果及分析 | 第27-29页 |
3.2.1 入射粒子能量对溅射率的影响 | 第27-28页 |
3.2.2 入射粒子种类对溅射率的影响 | 第28页 |
3.2.3 基底温度对溅射率的影响 | 第28-29页 |
3.2.4 结论 | 第29页 |
3.3 碳纤维增强碳化硅计算结果及分析 | 第29-37页 |
3.3.1 碳浓度对溅射率的影响 | 第29-31页 |
3.3.2 入射粒子种类对溅射率的影响 | 第31-33页 |
3.3.3 粒子入射能量对溅射率的影响 | 第33-34页 |
3.3.4 入射角度对溅射率的影响 | 第34-35页 |
3.3.5 基底温度对溅射率的影响 | 第35-36页 |
3.3.6 结论 | 第36-37页 |
第4章 计算结果对比 | 第37-40页 |
4.1 入射粒子能量的对比 | 第37-38页 |
4.2 入射粒子种类的对比 | 第38页 |
4.3 基底温度的对比 | 第38-40页 |
第5章 结论与展望 | 第40-42页 |
5.1 结论 | 第40页 |
5.2 展望 | 第40-42页 |
参考文献 | 第42-45页 |
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第45-46页 |
致谢 | 第46页 |