| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-18页 |
| 1.1 选题背景及意义 | 第12页 |
| 1.2 课题来源 | 第12-13页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3.1 分子泵的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.3.2 国内外现有分子泵种类 | 第14-15页 |
| 1.3.3 复合分子泵结构优化设计研究现状 | 第15-16页 |
| 1.4 课题主要内容 | 第16页 |
| 1.5 本课题的研究意义 | 第16-18页 |
| 第2章 计算模型的建立及程序化设计 | 第18-34页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 涡轮级抽气性能计算模型及程序化设计 | 第18-24页 |
| 2.2.1 单级涡轮叶列抽气性能计算模型 | 第18-19页 |
| 2.2.2 多级涡轮叶列抽气性能计算模型 | 第19-21页 |
| 2.2.3 积分均值方法 | 第21-22页 |
| 2.2.4 涡轮级抽气性能计算程序化设计 | 第22-24页 |
| 2.3 牵引级抽气性能计算模型及程序化设计 | 第24-30页 |
| 2.3.1 单槽抽气性能计算模型 | 第24-26页 |
| 2.3.2 多槽抽气性能计算模型 | 第26-28页 |
| 2.3.3 逐段判别流态法 | 第28-29页 |
| 2.3.4 牵引级抽气性能计算程序化设计 | 第29-30页 |
| 2.4 盘式过渡级抽气性能计算模型及程序化设计 | 第30-33页 |
| 2.4.1 盘式分子泵的工作原理 | 第30-31页 |
| 2.4.2 盘式过渡级计算模型 | 第31-32页 |
| 2.4.3 盘式过渡级程序化设计 | 第32-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 筒式牵引级抽气特性计算及结构优化 | 第34-52页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 转子-定子间隙对压缩比的影响 | 第34-38页 |
| 3.2.1 不同螺旋升角时转子-定子间隙对压缩比的影响 | 第34-36页 |
| 3.2.2 不同牵引槽深时转子-定子间隙对压缩比的影响 | 第36-37页 |
| 3.2.3 不同转速时转子-定子间隙对压缩比的影响 | 第37-38页 |
| 3.3 牵引筒螺旋槽槽深对压缩比的影响 | 第38-42页 |
| 3.3.1 不同螺旋升角下槽深对压缩比的影响 | 第38-39页 |
| 3.3.2 不同转速下槽深对压缩比的影响 | 第39-41页 |
| 3.3.3 不同转子-定子间隙下槽深对压缩比的影响 | 第41-42页 |
| 3.4 阻挡结构的优化设计 | 第42-43页 |
| 3.4.1 阻挡结构提出背景 | 第42-43页 |
| 3.4.2 阻挡结构 | 第43页 |
| 3.5 分段式螺旋槽的优化设计 | 第43-46页 |
| 3.5.1 分段式螺旋槽提出背景 | 第43-44页 |
| 3.5.2 分段式螺旋槽 | 第44页 |
| 3.5.3 正反向螺旋槽 | 第44-46页 |
| 3.5.4 分段式螺旋槽对性能的影响 | 第46页 |
| 3.6 动态间隙对性能的优化研究 | 第46-51页 |
| 3.6.1 转子系统变形来源分析 | 第46-47页 |
| 3.6.2 转子系统变形量的有限元分析 | 第47-50页 |
| 3.6.3 动态间隙优化设计 | 第50-51页 |
| 3.7 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 复合分子泵级间匹配的结构优化 | 第52-66页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 短涡轮叶齿过渡结构 | 第52-58页 |
| 4.2.1 短涡轮叶齿的工作原理 | 第52-53页 |
| 4.2.2 短涡轮叶齿的优化设计 | 第53-57页 |
| 4.2.3 涡轮短齿的抽气性能 | 第57-58页 |
| 4.3 盘式过渡结构 | 第58-64页 |
| 4.3.1 盘式泵的几种型线 | 第58-59页 |
| 4.3.2 圆弧型曲线盘式过渡结构抽气性能的研究 | 第59-60页 |
| 4.3.3 盘式过渡结构的优化设计 | 第60-64页 |
| 4.4 大螺旋槽过渡结构 | 第64-65页 |
| 4.4.1 大螺旋槽过渡结构的优化原理 | 第64页 |
| 4.4.2 大螺旋槽的抽气性能 | 第64-65页 |
| 4.5 不同过渡结构的比较 | 第65页 |
| 4.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 带过渡结构转子系统的模态分析 | 第66-73页 |
| 5.1 引言 | 第66页 |
| 5.2 模态分析简介 | 第66页 |
| 5.3 转子系统几何模型的建立 | 第66-68页 |
| 5.4 建立有限元模型 | 第68-70页 |
| 5.4.1 模型导入 | 第68页 |
| 5.4.2 网格划分 | 第68-69页 |
| 5.4.3 联接关系与约束的设置 | 第69-70页 |
| 5.5 模态特性分析 | 第70-72页 |
| 5.5.1 固有频率与临界转速分析 | 第70-71页 |
| 5.5.2 主振型分析 | 第71-72页 |
| 5.6 本章小结 | 第72-73页 |
| 第6章 结论与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 结论 | 第73-74页 |
| 6.2 展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 附录 | 第81页 |
| A. 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第81页 |
| B. 获批的软件著作权与专利 | 第81页 |
| C. 作者在攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第81页 |
| D. 作者在攻读硕士学位期间获得的荣誉 | 第81页 |
