数控特种气体动态发生配气系统关键技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 课题背景 | 第9页 |
| 1.2 研究目的及意义 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.4 研究主要内容 | 第12-13页 |
| 2 数控动态配气系统原理及其关键技术 | 第13-20页 |
| 2.1 标准气体配气方法 | 第13-14页 |
| 2.2 动态配气系统各项指标及原理 | 第14-16页 |
| 2.3 特种气体发生模块 | 第16-17页 |
| 2.4 稀释和混气模块 | 第17页 |
| 2.5 监测与控制模块 | 第17-19页 |
| 2.6 洗消防护及温控模块 | 第19页 |
| 2.7 本章小结 | 第19-20页 |
| 3 雾化式喷雾器气液两相流数理模型 | 第20-26页 |
| 3.1 气液两相流主要流动参数 | 第20-22页 |
| 3.2 气液两相流基本方程 | 第22-25页 |
| 3.2.1 气液两相分相流基本方程 | 第22-24页 |
| 3.2.2 气液两相均相流基本方程 | 第24-25页 |
| 3.3 湍流模型 | 第25页 |
| 3.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 4 雾化式喷雾器设计及分析 | 第26-39页 |
| 4.1 雾化式喷雾器设计 | 第26-28页 |
| 4.2 建模和网格生成 | 第28-31页 |
| 4.3 雾化式喷雾器模型设置 | 第31-32页 |
| 4.4 雾化式喷雾器模型求解 | 第32-35页 |
| 4.5 雾化式喷雾器试验 | 第35-37页 |
| 4.6 本章小结 | 第37-39页 |
| 5 气体发生池设计 | 第39-49页 |
| 5.1 携带式气体发生池 | 第39-41页 |
| 5.2 雾化式气体发生池 | 第41-42页 |
| 5.3 蒸发式气体发生池 | 第42-45页 |
| 5.3.1 蒸发式气体发生池设计方案 | 第42-44页 |
| 5.3.2 气体脉冲阀选型 | 第44-45页 |
| 5.4 多通道特种气体发生系统 | 第45-46页 |
| 5.5 发生池加热冷却装置的设计 | 第46-48页 |
| 5.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 6 动态配气系统气路设计 | 第49-57页 |
| 6.1 质量流量比气路设计 | 第49-51页 |
| 6.2 混气方案设计 | 第51-52页 |
| 6.3 混流器设计 | 第52-56页 |
| 6.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 7 特种气体动态发生配气系统性能测试 | 第57-66页 |
| 7.1 发生池温度控制性能测试 | 第57-59页 |
| 7.2 工作气流量控制性能测试 | 第59-61页 |
| 7.2.1 小工作气流流量测试 | 第59-60页 |
| 7.2.2 大工作气流流量测试 | 第60-61页 |
| 7.3 气体发生池发生性能测试 | 第61-65页 |
| 7.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 8 总结与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文及科研成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
