| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 1 概述 | 第10-25页 |
| 1.1 ZnO材料基本性质 | 第10-14页 |
| 1.1.1 ZnO的物理性质 | 第10-12页 |
| 1.1.2 ZnO的光学特性 | 第12页 |
| 1.1.3 ZnO的电学特性 | 第12-13页 |
| 1.1.4 ZnO的压电特性 | 第13页 |
| 1.1.5 ZnO的气敏特性 | 第13-14页 |
| 1.2 气体传感器的分类 | 第14-15页 |
| 1.3 电阻式半导体气体传感器的特征参数 | 第15-17页 |
| 1.4 ZnO气敏传感器的研究进展 | 第17-23页 |
| 1.5 本论文研究的主要内容 | 第23-25页 |
| 2 ZnO纳米材料的制备方法和表征手段 | 第25-35页 |
| 2.1 ZnO纳米材料的制备方法 | 第25-29页 |
| 2.1.1 化学气相沉积法 | 第25页 |
| 2.1.2 磁控溅射法 | 第25-26页 |
| 2.1.3 溶胶-凝胶法 | 第26-27页 |
| 2.1.4 水热法 | 第27-28页 |
| 2.1.5 分子束外延 | 第28-29页 |
| 2.2 表征手段 | 第29-35页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第29-30页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第30-31页 |
| 2.2.3 透射电子显微镜(TEM) | 第31-33页 |
| 2.2.4 光致发光谱(PL) | 第33-35页 |
| 3 大尺寸ZnO微米线的制备和特性研究 | 第35-39页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 ZnO微米线的生长 | 第35页 |
| 3.3 ZnO微米线的表面形貌分析 | 第35-37页 |
| 3.4 ZnO微米线的EDS结果分析 | 第37页 |
| 3.5 ZnO微米线的光学特性研究 | 第37-38页 |
| 3.6 小结 | 第38-39页 |
| 4 单根ZnO微米线非平衡电桥式乙醇气敏传感器的制备及研究 | 第39-50页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 气敏传感器的制作 | 第39-40页 |
| 4.3 器件的气敏性能 | 第40-47页 |
| 4.4 器件的传感机理分析 | 第47-49页 |
| 4.5 小结 | 第49-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 攻读硕士学位期间取得成果 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |