基于Petri网的两种晶圆产品同时加工的组合设备调度与控制问题研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题研究背景及研究意义 | 第10-12页 |
| 1.1.1 课题研究背景 | 第10-11页 |
| 1.1.2 课题研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 组合设备调度文献综述 | 第12-17页 |
| 1.2.1 组合设备 | 第12-13页 |
| 1.2.2 组合设备的建模研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 组合设备的调度和运行控制研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.4 相关调度问题研究 | 第16-17页 |
| 1.3 研究内容和论文框架 | 第17-18页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第17页 |
| 1.3.2 本论文的主要研究内容 | 第17页 |
| 1.3.3 本论文的整体框架 | 第17-18页 |
| 1.4 本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 Petri网概述 | 第19-30页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 PN基本概念 | 第19-20页 |
| 2.3 PN的动态性质 | 第20-21页 |
| 2.4 PN的分析方法 | 第21-23页 |
| 2.5 PN在自动化制造系统的应用 | 第23-29页 |
| 2.5.1 面向过程的PN | 第24-25页 |
| 2.5.2 面向资源的PN | 第25-29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 系统POPN建模 | 第30-43页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 问题描述 | 第30-34页 |
| 3.2.1 晶圆流 | 第30-31页 |
| 3.2.2 系统死锁分析及相应的死锁避免控制规则 | 第31-34页 |
| 3.3 PN建模 | 第34-42页 |
| 3.3.1 生产流程建模 | 第34-38页 |
| 3.3.2 活动时间的建模 | 第38-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 组合设备运行分析 | 第43-53页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 基于PN的尽快加工策略调度算法 | 第43-44页 |
| 4.3 粒子群算法 | 第44-49页 |
| 4.3.1 粒子群算法简介 | 第44-45页 |
| 4.3.2 标准粒子群算法 | 第45-46页 |
| 4.3.3 标准粒子群算法的参数分析 | 第46-47页 |
| 4.3.4 标准粒子群算法流程 | 第47-48页 |
| 4.3.5 标准粒子群算法的特点 | 第48-49页 |
| 4.4 标准粒子群算法在组合设备中的应用 | 第49-50页 |
| 4.5 本文的PSO算法设计 | 第50-52页 |
| 4.5.1 编码 | 第50页 |
| 4.5.2 调度问题的解空间和初始化种群 | 第50-51页 |
| 4.5.3 PSO算法的编码流程 | 第51-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 实验测试及实例分析 | 第53-58页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 实验平台与参数设置 | 第53页 |
| 5.3 实例分析 | 第53-56页 |
| 5.4 实验结果分析 | 第56-57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 结论和展望 | 第58-60页 |
| 6.1 结论 | 第58页 |
| 6.2 展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 附录 | 第65-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 攻读学位期间参研项目与主要研究成果 | 第71-72页 |
