| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 选题背景及意义 | 第11-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3 论文主要工作及创新点 | 第17-18页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第18-19页 |
| 2 FBAR理论分析及建模方法 | 第19-29页 |
| 2.1 FBAR基础及工作原理 | 第19-26页 |
| 2.1.1 FBAR基础介绍 | 第19-24页 |
| 2.1.2 FBAR工作原理 | 第24-26页 |
| 2.2 纵波模式FBAR的理论模型 | 第26-27页 |
| 2.3 剪切波模式FBAR的理论模型 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 FBAR压力传感器的有限元分析 | 第29-47页 |
| 3.1 FBAR压力传感器结构设计 | 第29-31页 |
| 3.1.1 压电薄膜的选择 | 第30-31页 |
| 3.1.2 电极的选择 | 第31页 |
| 3.2 COMSOL有限元仿真分析步骤 | 第31-34页 |
| 3.3 纵波模式FBAR传感器的仿真 | 第34-40页 |
| 3.4 剪切波模式FBAR传感器的仿真 | 第40-43页 |
| 3.5 液相环境中剪切波模式FBAR压力传感器的仿真分析 | 第43-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 4 剪切波模式FBAR压力传感器的制备与测试 | 第47-61页 |
| 4.1 剪切波模式FBAR压力传感器的制备 | 第47-55页 |
| 4.1.1 制备设备介绍 | 第47-51页 |
| 4.1.2 剪切波模式FBAR压力传感器掩膜版的设计与制作 | 第51-53页 |
| 4.1.3 剪切波模式FBAR压力传感器的制备 | 第53-55页 |
| 4.2 剪切波模式FBAR压力传感器的表征 | 第55-59页 |
| 4.2.1 测试仪器介绍 | 第55-56页 |
| 4.2.2 测试结果与分析 | 第56-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-61页 |
| 5 总结与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 论文的主要内容 | 第61页 |
| 5.2 论文的不足之处 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 攻读硕士期间主要研究工作及所取得的研究成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |