| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-10页 |
| Abstract | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第18-24页 |
| 1.1 MEMS压力传感器发展现状 | 第18-21页 |
| 1.1.1 微机电系统的起源和发展 | 第18页 |
| 1.1.2 MEMS压力传感器 | 第18-19页 |
| 1.1.3 MEMS电容式压力传感器 | 第19-21页 |
| 1.2 MEMS电容式压力传感检测电路的研究现状 | 第21页 |
| 1.3 本论文研究的目的和意义 | 第21-22页 |
| 1.3.1 本论文研究的目的 | 第21-22页 |
| 1.3.2 本论文研究的意义 | 第22页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第22-24页 |
| 第二章 基于MEMS工艺的新型高线性压力传感器设计 | 第24-34页 |
| 2.1 电容式压力传感器的研究回顾 | 第24页 |
| 2.2 传感器结构及工作原理 | 第24-27页 |
| 2.2.1 微机械传感器的基本工作原理 | 第25页 |
| 2.2.2 新结构及其工作原理 | 第25-27页 |
| 2.3 仿真与优化设计 | 第27-31页 |
| 2.3.1 结构与材料参数 | 第28页 |
| 2.3.2 仿真与分析 | 第28-31页 |
| 2.4 工艺设计 | 第31-33页 |
| 2.4.1 下级板制备工艺 | 第31-32页 |
| 2.4.2 复合膜上极板制备及键合工艺 | 第32-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 MEMS电容式压力传感器检测电路方式 | 第34-42页 |
| 3.1 电容式压力传感器的基本工作原理 | 第34-35页 |
| 3.2 分类与结果 | 第35-41页 |
| 3.2.1 脉宽调制法 | 第35-36页 |
| 3.2.2 运算放大器法 | 第36页 |
| 3.2.3 电荷注入法 | 第36-37页 |
| 3.2.4 开关电容法 | 第37-39页 |
| 3.2.5 调频法 | 第39-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 基于谐振法的改进型接口电路设计 | 第42-74页 |
| 4.1 测量电路结构设计 | 第42-43页 |
| 4.2 张弛振荡器原理及设计 | 第43-55页 |
| 4.2.1 张弛振荡器原理分析 | 第43-49页 |
| 4.2.2 自偏置恒流源的设计 | 第49-54页 |
| 4.2.3 设计展望 | 第54-55页 |
| 4.3 施密特触发器的重新设计 | 第55-61页 |
| 4.3.1 普通六管结构Schimitt触发器 | 第56-59页 |
| 4.3.2 改进型的六管施密特触发器 | 第59-61页 |
| 4.4 差频电路的设计与原理 | 第61-68页 |
| 4.4.1 差频电路设计的必要性 | 第61-64页 |
| 4.4.2 差频电路的结构与其功能的设计 | 第64-65页 |
| 4.4.3 差频电路的原理证明及仿真验证 | 第65-68页 |
| 4.5 全电路的温度、电源以及工艺的敏感性模拟 | 第68-70页 |
| 4.6 接口电路灵敏度的改进 | 第70-71页 |
| 4.7 全电路仿真及分析 | 第71-72页 |
| 4.8 本章小结 | 第72-74页 |
| 第五章 基于开关电容法检测电路设计和优化 | 第74-94页 |
| 5.1 开关电容电路检测原理 | 第74-76页 |
| 5.2 斩波稳定技术 | 第76-78页 |
| 5.2.1 斩波稳定技术的原理 | 第76-77页 |
| 5.2.2 噪声性能分析 | 第77-78页 |
| 5.3 斩波稳定读出电路设计 | 第78-93页 |
| 5.3.1 前置放大器的设计及仿真 | 第79-82页 |
| 5.3.2 调制解调开关的设计及仿真 | 第82-84页 |
| 5.3.3 缓冲器的设计及仿真 | 第84-86页 |
| 5.3.4 低通滤波器的设计及仿真 | 第86-88页 |
| 5.3.5 两相非交叠时钟的设计及仿真 | 第88-90页 |
| 5.3.6 带隙基准源的设计及仿真 | 第90-93页 |
| 5.4 本章小结 | 第93-94页 |
| 第六章 总结与展望 | 第94-96页 |
| 6.1 总结 | 第94-95页 |
| 6.2 展望 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-99页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第99页 |