宽光谱椭偏仪在集成电路中的研究与应用
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 椭偏测量术发展历程和应用 | 第11-14页 |
| 1.2.1 椭偏测量术发展历程 | 第11-13页 |
| 1.2.2 椭偏测量术的应用 | 第13-14页 |
| 1.3 论文的主要工作 | 第14-16页 |
| 第二章 偏振光学理论 | 第16-30页 |
| 2.1 光的偏振特性 | 第16-19页 |
| 2.2 偏振态矢量表示法 | 第19-21页 |
| 2.2.1 琼斯矢量法 | 第19-20页 |
| 2.2.2 斯托克斯矢量法 | 第20-21页 |
| 2.3 偏振器件 | 第21-24页 |
| 2.3.1 起偏器和检偏器 | 第22-23页 |
| 2.3.2 补偿器 | 第23-24页 |
| 2.4 偏振光学系统矩阵表示 | 第24-28页 |
| 2.4.1 偏振器件的琼斯矩阵 | 第24-26页 |
| 2.4.2 偏振器件的穆勒矩阵 | 第26-27页 |
| 2.4.3 椭偏系统的琼斯矩阵表示 | 第27-28页 |
| 2.4.4 椭偏系统的穆勒矩阵表示 | 第28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 椭偏测量原理 | 第30-39页 |
| 3.1 样品的调制原理 | 第30-33页 |
| 3.1.1 介质界面的反射模型 | 第30-31页 |
| 3.1.2 薄膜中的反射模型-调制样品信息 | 第31-33页 |
| 3.2 消光法测量原理 | 第33-36页 |
| 3.3 光度法测量原理 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 宽光谱椭偏仪及其在薄膜中的应用 | 第39-59页 |
| 4.1 系统光路结构设计 | 第39-40页 |
| 4.2 PSCRA椭偏测量原理 | 第40-42页 |
| 4.3 PSCRA椭偏测量实验装置 | 第42-43页 |
| 4.4 脉冲触发电路设计 | 第43-46页 |
| 4.4.1 外围电路设计 | 第44页 |
| 4.4.2 内部逻辑设计 | 第44-46页 |
| 4.5 PSCRA椭偏测量系统校准 | 第46-54页 |
| 4.5.1 传统校准方法 | 第46页 |
| 4.5.2 利用多个标准样品校准椭圆偏振系统 | 第46-50页 |
| 4.5.3 多标准样品校准结果及讨论 | 第50-54页 |
| 4.6 PSCRA椭偏系统测量膜厚 | 第54-57页 |
| 4.7 本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 宽光谱椭偏仪在集成电路CD样品中的应用 | 第59-64页 |
| 5.1 RCWA算法分析及建模 | 第60页 |
| 5.2 宽光谱椭偏仪测量线性光栅的CD | 第60-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 Mueller矩阵宽光谱椭偏仪 | 第64-73页 |
| 6.1 Mueller矩阵椭偏系统结构及原理 | 第64-69页 |
| 6.1.1 Mueller矩阵系统结构 | 第64-65页 |
| 6.1.2 Mueller矩阵椭偏测量原理 | 第65-69页 |
| 6.2 脉冲触发电路设计方案 | 第69-70页 |
| 6.3 直通式测量结果 | 第70-72页 |
| 6.4 下一步工作计划与展望 | 第72页 |
| 6.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 第七章 结论 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第78-79页 |
