| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 论文研究背景及意义 | 第9-13页 |
| 1.2 原子层沉积系统国内外研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 PEALD控制系统构成与硬件选型 | 第15-29页 |
| 2.1 PEALD工艺及其控制要求 | 第15-17页 |
| 2.2 PEALD系统方案设计及硬件选型 | 第17-28页 |
| 2.2.1 系统等离子体生成部分方案设计 | 第17-19页 |
| 2.2.2 系统真空部分方案设计 | 第19-21页 |
| 2.2.3 系统温度控制方案设计 | 第21-23页 |
| 2.2.4 基于NILabVIEW的PEALD系统数据采集与控制方案设计 | 第23-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 基于LabVIEW的PEALD控制系统软件设计 | 第29-64页 |
| 3.1 温度控制系统软件设计 | 第30-39页 |
| 3.1.1 衬底温度控制程序设计 | 第30-36页 |
| 3.1.2 衬底温度拟合程序设计 | 第36-39页 |
| 3.2 配方程序设计 | 第39-48页 |
| 3.3 串口通讯程序设计 | 第48-57页 |
| 3.3.1 流量计控制程序设计 | 第48-54页 |
| 3.3.2 射频电源控制程序设计 | 第54-56页 |
| 3.3.3 真空计控制程序设计 | 第56-57页 |
| 3.4 数据存储系统设计 | 第57-62页 |
| 3.4.1 TDMS数据文件的优点 | 第57-58页 |
| 3.4.2 数据读写程序设计 | 第58-62页 |
| 3.5 本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 PEALD控制系统软件使用与测试结果分析 | 第64-78页 |
| 4.1 系统用户界面使用 | 第64-75页 |
| 4.1.1 登录页面 | 第64-65页 |
| 4.1.2 自动页面 | 第65-67页 |
| 4.1.3 手动页面 | 第67-68页 |
| 4.1.4 配方页面 | 第68-69页 |
| 4.1.5 实时趋势页面 | 第69-71页 |
| 4.1.6 历史趋势页面 | 第71-72页 |
| 4.1.7 报警页面 | 第72-73页 |
| 4.1.8 配置页面 | 第73-75页 |
| 4.2 系统运行稳定性测试 | 第75页 |
| 4.3 系统工艺结果验证与分析 | 第75-77页 |
| 4.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 第五章 总结与展望 | 第78-80页 |
| 5.1 总结 | 第78页 |
| 5.2 展望 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 研究成果 | 第84页 |