基于蓝宝石基体化学气相沉积石墨烯的制备研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 石墨烯结构 | 第8-10页 |
| 1.3 石墨烯性能 | 第10-12页 |
| 1.3.1 石墨烯的光学性能 | 第10-11页 |
| 1.3.2 石墨烯的热学性能 | 第11页 |
| 1.3.3 石墨烯的力学性能 | 第11页 |
| 1.3.4 石墨烯的电学性能 | 第11-12页 |
| 1.4 石墨烯的应用 | 第12-13页 |
| 1.4.1 传感器 | 第12页 |
| 1.4.2 储能材料 | 第12-13页 |
| 1.4.3 复合材料 | 第13页 |
| 1.5 蓝宝石性能 | 第13-14页 |
| 1.6 石墨烯制备方法 | 第14-16页 |
| 1.7 本课题的意义及内容 | 第16-17页 |
| 1.7.1 选题依据和意义 | 第16页 |
| 1.7.2 课题的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 石墨烯制备的实验材料及方案 | 第17-23页 |
| 2.1 实验药品及材料 | 第17-18页 |
| 2.2 CVD生长系统 | 第18-19页 |
| 2.3 实验过程 | 第19-20页 |
| 2.4 石墨烯的表征 | 第20-23页 |
| 第三章 石墨烯生长及机理研究 | 第23-44页 |
| 3.0 引言 | 第23页 |
| 3.1 生长温度对石墨烯的影响 | 第23-30页 |
| 3.2 生长时间对石墨烯的影响 | 第30-35页 |
| 3.3 CH_4流量对石墨烯的影响 | 第35-40页 |
| 3.4 机理研究 | 第40-44页 |
| 第四章 H_2对蓝宝石基体表面刻蚀模拟及实验研究 | 第44-50页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 模拟软件 | 第44-45页 |
| 4.3 蓝宝石基体模型的建立和优化 | 第45-46页 |
| 4.4 刻蚀过程的模拟 | 第46-47页 |
| 4.5 实验研究 | 第47-50页 |
| 第五章 结论及展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及专利 | 第57-58页 |
