| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 氟化钙材料在紫外光刻系统中的应用 | 第12-14页 |
| 1.2.1 紫外光刻系统概述 | 第12-13页 |
| 1.2.2 单晶氟化钙在光刻系统中的应用 | 第13-14页 |
| 1.3 氟化钙材料在机械加工过程中的磨损问题 | 第14-22页 |
| 1.3.1 氟化钙材料的结构特性以及力学性能的各向异性 | 第14-16页 |
| 1.3.2 氟化钙晶体材料在抛光过程中的各向异性磨损问题 | 第16-18页 |
| 1.3.3 氟化钙晶体材料单点机械加工过程中的各向异性研究现状 | 第18-22页 |
| 1.4 选题意义及研究内容 | 第22-27页 |
| 1.4.1 选题意义 | 第22-23页 |
| 1.4.2 研究方案和内容 | 第23-27页 |
| 第2章 实验材料和研究方法 | 第27-37页 |
| 2.1 实验材料 | 第27-28页 |
| 2.2 实验设备 | 第28-33页 |
| 2.2.1 原位纳米力学测试系统 | 第28-30页 |
| 2.2.2 原子力显微镜 | 第30-32页 |
| 2.2.3 显微维氏硬度计 | 第32-33页 |
| 2.2.4 激光共聚焦显微镜 | 第33页 |
| 2.3 实验方法 | 第33-35页 |
| 2.3.1 纳米压痕和纳米划痕测试 | 第33-35页 |
| 2.3.2 显微压痕测试 | 第35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 晶体取向对氟化钙机械去除的影响 | 第37-48页 |
| 3.1 晶体取向对氟化钙材料弹塑性转变的影响 | 第37-40页 |
| 3.2 晶体取向对氟化钙磨损深度的影响 | 第40-41页 |
| 3.3 氟化钙材料各向异性机械去除的机理讨论 | 第41-45页 |
| 3.4 氟化钙材料的韧性去除所需要的安全区域 | 第45-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 不同滑动速度对氟化钙晶体各向异性机械去除的影响 | 第48-58页 |
| 4.1 滑动速度对单晶氟化钙弹塑性转变的影响 | 第48-50页 |
| 4.2 滑动速度对氟化钙磨损深度的影响 | 第50-53页 |
| 4.3 滑动速度对氟化钙弹性恢复能力的影响 | 第53-54页 |
| 4.4 不同滑动速度下氟化钙材料表现出的各向异性的机理讨论 | 第54-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 大气和水下不同气氛对氟化钙材料单点压痕损伤的影响 | 第58-68页 |
| 5.1 大气环境下氟化钙晶体不同晶面晶向上压痕损伤的各向异性 | 第58-60页 |
| 5.2 纯水环境下氟化钙晶体不同晶面晶向上的压痕各向异性 | 第60-61页 |
| 5.3 压痕损伤的各向异性行为机理以及水分子作用下的磨损机制 | 第61-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第77页 |
