大尺寸光学元件面形检测平台开发及误差补偿研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-22页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第13-15页 |
| 1.2 大尺寸光学元件面形检测发展现状 | 第15-20页 |
| 1.3 本课题的研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 大尺寸光学元件面形检测平台设计 | 第22-40页 |
| 2.1 检测系统设计要求 | 第22-26页 |
| 2.1.1 检测对象分析 | 第22-26页 |
| 2.1.2 设计要求 | 第26页 |
| 2.2 总体结构设计 | 第26-30页 |
| 2.2.1 机械结构设计 | 第26-27页 |
| 2.2.2 运动机构设计 | 第27-30页 |
| 2.3 检测部件设计 | 第30-33页 |
| 2.3.1 接触式检测系统 | 第30-32页 |
| 2.3.2 非接触式检测系统 | 第32-33页 |
| 2.4 机械结构优化 | 第33-39页 |
| 2.4.1 Z轴传动机构优化 | 第33-36页 |
| 2.4.2 Z轴支撑机构优化 | 第36-37页 |
| 2.4.3 机构优化对比实验 | 第37-39页 |
| 2.5 小结 | 第39-40页 |
| 第3章 检测平台控制与检测实现 | 第40-59页 |
| 3.1 控制系统设计 | 第40-45页 |
| 3.1.1 运动控制系统结构 | 第40-41页 |
| 3.1.2 控制系统线路连接 | 第41-43页 |
| 3.1.3 测量进给控制 | 第43-45页 |
| 3.2 检测系统软件设计 | 第45-49页 |
| 3.2.1 软件总体框架设计 | 第46-47页 |
| 3.2.2 软件功能模块的实现 | 第47-49页 |
| 3.3 测量初始化及路径规划 | 第49-58页 |
| 3.3.1 测量初始化 | 第50-54页 |
| 3.3.2 测量路径规划 | 第54-56页 |
| 3.3.3 光学元件顶点测量 | 第56-58页 |
| 3.4 小结 | 第58-59页 |
| 第4章 检测平台系统误差分析 | 第59-70页 |
| 4.1 定位误差 | 第59-62页 |
| 4.2 直线度误差 | 第62-64页 |
| 4.3 垂直度误差 | 第64-66页 |
| 4.4 角运动误差 | 第66-69页 |
| 4.5 小结 | 第69-70页 |
| 第5章 检测平台系统误差建模与补偿 | 第70-91页 |
| 5.1 三维直线运动平台数学模型 | 第71-75页 |
| 5.2 球杆仪误差模型 | 第75-81页 |
| 5.2.1 球杆仪误差测量原理 | 第75-76页 |
| 5.2.2 检测平台误差参数模型 | 第76-81页 |
| 5.3 基于球杆仪的空间误差识别及补偿 | 第81-82页 |
| 5.3.1 空间误差模型与球杆仪测量误差的集成 | 第81-82页 |
| 5.3.2 误差识别的最小二乘法 | 第82页 |
| 5.4 基于球杆仪的空间误差补偿 | 第82-90页 |
| 5.5 小结 | 第90-91页 |
| 第6章 综合测量实验及结果分析 | 第91-99页 |
| 6.1 系统精度标定 | 第91-93页 |
| 6.2 矩形光学元件测量实验 | 第93-94页 |
| 6.3 轴对称光学元件实验 | 第94-97页 |
| 6.4 小结 | 第97-99页 |
| 第7章 总结与展望 | 第99-101页 |
| 7.1 总结 | 第99-100页 |
| 7.2 展望 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 硕士期间科研成果 | 第106-107页 |
