| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·研究背景 | 第7-8页 |
| ·研究目的和意义 | 第8页 |
| ·本文主要工作 | 第8-9页 |
| ·本文组织结构 | 第9-11页 |
| 第二章 工厂自动化系统FAS研究 | 第11-21页 |
| ·FAS系统体系结构 | 第11-12页 |
| ·FAS系统功能模块研究 | 第12-20页 |
| ·用户图形界面系统OGUI | 第12-13页 |
| ·制造执行系统MES | 第13-16页 |
| ·设备自动化平台EAP | 第16-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 Laser Scribe设备自动化的分析与设计 | 第21-47页 |
| ·Laser Scribe功能分析 | 第21-23页 |
| ·Laser生产处理功能 | 第21-22页 |
| ·Laser Scribe自动化相关功能的研究 | 第22-23页 |
| ·设备自动化的SEMI标准 | 第23-30页 |
| ·SECS-GEM通信标准的框架 | 第23-24页 |
| ·SECS-GEM标准分层介绍 | 第24-30页 |
| ·Laser Scribe自动化的需求分析 | 第30-31页 |
| ·系统设计 | 第31-46页 |
| ·设计目标 | 第31页 |
| ·Laser Scribe自动化概要设计 | 第31-32页 |
| ·设备模型建立 | 第32-37页 |
| ·功能模块设计 | 第37-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 Laser Scribe逻辑控制的实现与测试 | 第47-65页 |
| ·设备状态管理 | 第47-49页 |
| ·生产参数管理 | 第49-51页 |
| ·设备生产管理 | 第51-55页 |
| ·设备警告管理 | 第55-57页 |
| ·系统测试与分析 | 第57-63页 |
| ·测试环境的建立 | 第57-58页 |
| ·测试用例的设计与测试的实施 | 第58-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-70页 |