| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-35页 |
| 1.1 挥发性有机气体的危害及检测意义 | 第13-15页 |
| 1.2 有机气体传感器的国内外研究概况 | 第15-33页 |
| 1.2.1 非接触式有机气体传感器 | 第16-21页 |
| 1.2.2 接触式有机气体传感器 | 第21-32页 |
| 1.2.3 有机气体传感器总结 | 第32-33页 |
| 1.3 论文研究的主要内容 | 第33-35页 |
| 第2章 基于MEMS薄膜的新型压阻式有机气体传感器的基础理论 | 第35-52页 |
| 2.1 新型MEMS压阻式有机气体传感器的结构 | 第35-36页 |
| 2.2 新型MEMS压阻式有机气体传感器工作原理 | 第36-48页 |
| 2.2.1 气体的吸附和解附 | 第37-39页 |
| 2.2.2 低气体压力下吸附的特性 | 第39-41页 |
| 2.2.3 低气体压力下聚合物的膨胀变形 | 第41-43页 |
| 2.2.4 硅的压阻效应 | 第43-45页 |
| 2.2.5 新型MEMS有机气体传感器的检测电路 | 第45-46页 |
| 2.2.6 新型MEMS有机气体传感器的输出 | 第46-48页 |
| 2.3 新型MEMS有机气体传感器的设计 | 第48-51页 |
| 2.3.1 聚合物敏感膜厚度参数的设计 | 第48-50页 |
| 2.3.2 传感器敏感膜的选择 | 第50页 |
| 2.3.3 传感器供电电压的设置 | 第50-51页 |
| 2.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第3章 基于MEMS薄膜的新型压阻式有机气体传感器的实验研究 | 第52-73页 |
| 3.1 基于硅橡胶敏感膜的新型MEMS有机气体传感器 | 第52-63页 |
| 3.1.1 新型MEMS有机气体传感器的制备 | 第52-53页 |
| 3.1.2 实验设备及测试系统 | 第53-54页 |
| 3.1.3 新型MEMS有机气体传感器的输出特性 | 第54-59页 |
| 3.1.4 硅橡胶敏感膜参数对传感器输出性能的影响 | 第59-61页 |
| 3.1.5 环境温湿度对传感器输出的影响 | 第61-63页 |
| 3.2 基于环氧丙烯酸酯的MEMS有机气体传感器 | 第63-72页 |
| 3.2.1 基于环氧丙烯酸酯的MEMS有机气体传感器的制备 | 第64-65页 |
| 3.2.2 基于环氧丙烯酸酯的MEMS有机气体传感器的输出特性 | 第65-71页 |
| 3.2.3 湿度对基于环氧丙烯酸酯的MEMS有机气体传感器的影响 | 第71-72页 |
| 3.3 本章小结 | 第72-73页 |
| 第4章 基于硅纳米线的NEMS有机气体传感器的实验研究 | 第73-88页 |
| 4.1 硅纳米线的制备及应用 | 第73-76页 |
| 4.2 基于硅纳米线的NEMS有机气体传感器的制备及测试 | 第76-85页 |
| 4.2.1 NEMS有机气体传感器的制备 | 第77-80页 |
| 4.2.2 NEMS有机气体传感器的输出特性 | 第80-85页 |
| 4.3 NEMS有机气体传感器和MEMS有机气体传感器性能比较 | 第85-87页 |
| 4.4 本章小结 | 第87-88页 |
| 第5章 基于硅纳米线的NEMS有机气体传感器的仿真和优化 | 第88-106页 |
| 5.1 NEMS薄膜结构的优化 | 第88-95页 |
| 5.1.1 NEMS薄膜结构的有限元模型 | 第88-90页 |
| 5.1.2 p型硅纳米线设置位置的优化 | 第90-92页 |
| 5.1.3 p型硅纳米线掺杂浓度的优化 | 第92-93页 |
| 5.1.4 NEMS薄膜介电层的优化 | 第93-95页 |
| 5.2 NEMS有机气体传感器敏感膜的优化 | 第95-105页 |
| 5.2.1 等效温度载荷和气体浓度载荷的等效关系式 | 第95-96页 |
| 5.2.2 NEMS有机气体传感器的有限元模型 | 第96-97页 |
| 5.2.3 NEMS气体传感器的仿真输出 | 第97-100页 |
| 5.2.4 NEMS有机气体传感器敏感薄膜设计参数的优化 | 第100-105页 |
| 5.3 本章小结 | 第105-106页 |
| 结论与展望 | 第106-108页 |
| 致谢 | 第108-109页 |
| 参考文献 | 第109-121页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文及科研成果 | 第121-122页 |
