| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 选题背景以及研究意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外在该领域研究现状及分析 | 第9-19页 |
| 1.2.1 无铅互连焊点的可靠性问题研究 | 第9-13页 |
| 1.2.2 传统焊盘对焊点可靠性影响研究 | 第13-15页 |
| 1.2.3 不锈钢焊盘对焊点可靠性影响研究 | 第15-19页 |
| 1.3 本课题研究的主要内容 | 第19-21页 |
| 第2章 实验方法与实验材料 | 第21-27页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 实验材料及制备 | 第21-23页 |
| 2.2.1 实验材料 | 第21-22页 |
| 2.2.2 焊点制作 | 第22-23页 |
| 2.3 实验方法 | 第23-25页 |
| 2.3.1 等温老化实验 | 第23页 |
| 2.3.2 热循环实验 | 第23-24页 |
| 2.3.3 剪切力实验 | 第24-25页 |
| 2.3.4 机械冲击实验 | 第25页 |
| 2.4 表征分析方法 | 第25-27页 |
| 2.4.1 SEM 对焊点形貌和界面分析 | 第25页 |
| 2.4.2 EDX 和 AES 对焊点界面成分分析 | 第25-26页 |
| 2.4.3 TEM 和 FIB 对焊点界面分析 | 第26-27页 |
| 第3章 焊点界面反应 | 第27-43页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 不同焊盘焊点形貌在等温老化时演化情况 | 第27-30页 |
| 3.3 125℃等温老化下界面 IMC 生长规律 | 第30-39页 |
| 3.3.1 界面 IMC 形貌 | 第30-32页 |
| 3.3.2 界面 IMC 厚度 | 第32-34页 |
| 3.3.3 界面 IMC 种类 | 第34-39页 |
| 3.4 高温老化下界面 IMC 生长规律 | 第39-40页 |
| 3.5 FeSn2生长动力学 | 第40-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 焊点可靠性表征 | 第43-57页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 不同焊盘焊点剪切实验 | 第43-51页 |
| 4.2.1 剪切力变化与焊盘种类 | 第43-45页 |
| 4.2.2 断口形貌与焊盘种类 | 第45-51页 |
| 4.3 不同焊盘焊点机械冲击实验 | 第51-55页 |
| 4.3.1 焊点机械冲击失效规律与焊盘种类 | 第51-53页 |
| 4.3.2 焊点机械冲击断裂位置与焊盘种类 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 致谢 | 第64页 |