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沟槽多晶硅/4H-SiC异质结势垒控制器件设计与仿真研究

摘要第5-7页
abstract第7-8页
第1章 绪论第11-17页
    1.1 碳化硅二极管的发展第11-13页
    1.2 异质结技术的发展第13-14页
    1.3 Si/SiC异质结器件研究现状第14-15页
    1.4 本文的主要研究内容第15-17页
第2章 4H-SiC二极管工作原理分析第17-31页
    2.1 PiN二极管第17-19页
        2.1.1 正向导通第17-19页
        2.1.2 反向阻断第19页
    2.2 肖特基二极管第19-22页
        2.2.1 正向导通第21页
        2.2.2 反向阻断第21-22页
    2.3 4H-SiC JBS/MPS二极管第22-24页
        2.3.1 4H-SiC结势垒肖特基二极管(JBS)第22-23页
        2.3.2 4H-SiC混合PiN和肖特基二极管(MPS)第23-24页
    2.4 多晶硅/4H-SiC异质结二极管第24-29页
        2.4.1 p多晶硅/N 4H-SiC异型异质结能带图第25-26页
        2.4.2 n多晶硅/N 4H-SiC同型异质结能带图第26-28页
        2.4.3 多晶硅/4H-SiC异质结二极管工作原理第28-29页
    2.5 反向恢复特性第29-30页
    2.6 本章小结第30-31页
第3章 双多晶硅/4H-SiC异质结沟槽二极管第31-45页
    3.1 DHT二极管结构与工作原理第31-33页
    3.2 DHT二极管结构参数分析第33-35页
    3.3 界面电荷对DHT二极管的影响第35-36页
    3.4 温度对DHT二极管的影响第36-41页
        3.4.1 与温度有关的仿真模型第36-39页
        3.4.2 温度对DHT二极管正向特性的影响第39-40页
        3.4.3 温度对DHT二极管反向特性的影响第40-41页
    3.5 DHT二极管静态特性分析第41-44页
        3.5.1 反向阻断特性第41-43页
        3.5.2 正向导通特性第43-44页
    3.6 本章小结第44-45页
第4章 结势垒肖特基和异质结二极管第45-56页
    4.1 JBSH二极管结构与工作原理第45-46页
    4.2 JBSH二极管器件结构优化第46-51页
        4.2.1 p+多晶硅区的深度对器件特性的影响第46-47页
        4.2.2 p+多晶硅区的掺杂浓度对器件特性的影响第47-49页
        4.2.3 p+多晶硅区的宽度对器件特性的影响第49-50页
        4.2.4 漂移区掺杂浓度对器件特性的影响第50-51页
    4.3 JBSH二极管静态特性分析第51-54页
        4.3.1 正向导通特性第51-53页
        4.3.2 反向阻断特性第53-54页
    4.4 JBSH二极管反向恢复特性第54-55页
    4.5 本章小结第55-56页
第5章 混合PiN和多晶硅/4H-SiC异质结二极管第56-68页
    5.1 MPH二极管结构与工作原理第56-57页
    5.2 MPH二极管静态特性分析第57-59页
        5.2.1 正向导通特性第57-59页
        5.2.2 反向阻断特性第59页
    5.3 MPH二极管反向恢复特性分析第59-60页
    5.4 MPH二极管功率损耗分析第60-66页
        5.4.1 功率损耗的计算方法第60-61页
        5.4.2 温度对功率损耗的影响第61-65页
        5.4.3 器件结构参数对功率损耗的影响第65-66页
    5.5 本章小结第66-68页
结论第68-70页
参考文献第70-76页
攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果第76-77页
致谢第77页

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