| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-20页 |
| 1.1 无损检测技术概述 | 第15-16页 |
| 1.2 激光错位散斑干涉技术国内外研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 本文研究的主要内容及意义 | 第17-20页 |
| 1.3.1 课题研究意义及主要内容 | 第17-18页 |
| 1.3.2 课题来源及论文结构 | 第18-20页 |
| 第二章 激光错位散斑干涉及图像处理技术研究 | 第20-32页 |
| 2.1 错位散斑干涉技术原理 | 第20-26页 |
| 2.1.1 典型错位散斑干涉光路 | 第20-22页 |
| 2.1.2 错位散斑干涉技术的理论分析 | 第22-26页 |
| 2.2 相位测量技术 | 第26-29页 |
| 2.2.1 静态相位测量技术 | 第26-27页 |
| 2.2.2 动态相位测量技术 | 第27-28页 |
| 2.2.3 相位测量方法验证及比较 | 第28-29页 |
| 2.3 相位滤波技术 | 第29-30页 |
| 2.4 相位解包裹技术 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 空间载波相移技术中关键参数研究 | 第32-44页 |
| 3.1 空间载波理论研究 | 第32-34页 |
| 3.2 错位方向分析 | 第34-36页 |
| 3.3 光阑形状分析 | 第36-38页 |
| 3.4 光阑尺寸和错位角大小分析 | 第38-43页 |
| 3.4.1 理论研究 | 第39-40页 |
| 3.4.2 实验验证 | 第40-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 激光错位散斑干涉技术测量物体离面位移 | 第44-59页 |
| 4.1 大错位量散斑干涉法 | 第44-50页 |
| 4.1.1 理论分析 | 第44-48页 |
| 4.1.2 实验测量 | 第48-50页 |
| 4.2 位移导数积分法 | 第50-57页 |
| 4.2.1 理论分析 | 第50-51页 |
| 4.2.2 实验验证 | 第51-53页 |
| 4.2.3 实验比对 | 第53-56页 |
| 4.2.4 位移量动态变化测量 | 第56-57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 错位散斑干涉技术检测SU-8光刻胶应变分布 | 第59-64页 |
| 5.1 实验对象 | 第59-60页 |
| 5.2 实验设置 | 第60-61页 |
| 5.3 实验分析 | 第61-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结和展望 | 第64-66页 |
| 6.1 论文总结 | 第64页 |
| 6.2 工作展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第69页 |