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单层亚波长金属光栅的剥离工艺及性能分析

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1. 绪论第9-20页
    1.1 引言第9页
    1.2 亚波长金属光栅第9-18页
        1.2.1 亚波长金属光栅的理论分析第10-11页
        1.2.2 亚波长金属光栅的制作及应用第11-18页
    1.3 选题依据及意义第18-19页
    1.4 本论文主要研究内容第19-20页
2. 介质对亚波长金属光栅透射性能的影响第20-32页
    2.1 等效布拉格腔体模型第21-23页
    2.2 单层亚波长金属光栅的透射性能第23-27页
    2.3 双层亚波长金属光栅的TE透射率第27-31页
    2.4 总结第31-32页
3. 单层亚波长金属光栅的制作第32-54页
    3.1 纳米压印和剥离工艺第32-38页
        3.1.1 纳米压印第32-36页
        3.1.2 剥离工艺第36-38页
    3.2 单层亚波长金属光栅的制作第38-49页
        3.2.1 制备单层亚波长金属光栅的工艺流程第38-39页
        3.2.2 基底的清洗第39-42页
        3.2.3 旋涂以及纳米压印第42-44页
        3.2.4 压印胶和剥离胶的干法刻蚀第44-47页
        3.2.5 基于间隔超声的剥离工艺第47-49页
    3.3 多方向单层金属光栅的测试第49-53页
    3.4 总结第53-54页
4. 多层结构剥离工艺制作单层亚波长金属光栅第54-62页
    4.1 多层结构的剥离工艺第54-59页
        4.1.1 多层结构剥离工艺流程第55-56页
        4.1.2 多层结构剥离工艺中的关键工艺第56-57页
        4.1.3 光栅结构对比以及理论分析第57-59页
    4.2 基于改进工艺的单层亚波长金属光栅测试第59-61页
        4.2.1 测试结果以及角度误差对比第59-61页
    4.3 总结第61-62页
5. 结论与展望第62-64页
参考文献第64-68页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第68-69页
致谢第69-70页

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