单层亚波长金属光栅的剥离工艺及性能分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1. 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 亚波长金属光栅 | 第9-18页 |
| 1.2.1 亚波长金属光栅的理论分析 | 第10-11页 |
| 1.2.2 亚波长金属光栅的制作及应用 | 第11-18页 |
| 1.3 选题依据及意义 | 第18-19页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第19-20页 |
| 2. 介质对亚波长金属光栅透射性能的影响 | 第20-32页 |
| 2.1 等效布拉格腔体模型 | 第21-23页 |
| 2.2 单层亚波长金属光栅的透射性能 | 第23-27页 |
| 2.3 双层亚波长金属光栅的TE透射率 | 第27-31页 |
| 2.4 总结 | 第31-32页 |
| 3. 单层亚波长金属光栅的制作 | 第32-54页 |
| 3.1 纳米压印和剥离工艺 | 第32-38页 |
| 3.1.1 纳米压印 | 第32-36页 |
| 3.1.2 剥离工艺 | 第36-38页 |
| 3.2 单层亚波长金属光栅的制作 | 第38-49页 |
| 3.2.1 制备单层亚波长金属光栅的工艺流程 | 第38-39页 |
| 3.2.2 基底的清洗 | 第39-42页 |
| 3.2.3 旋涂以及纳米压印 | 第42-44页 |
| 3.2.4 压印胶和剥离胶的干法刻蚀 | 第44-47页 |
| 3.2.5 基于间隔超声的剥离工艺 | 第47-49页 |
| 3.3 多方向单层金属光栅的测试 | 第49-53页 |
| 3.4 总结 | 第53-54页 |
| 4. 多层结构剥离工艺制作单层亚波长金属光栅 | 第54-62页 |
| 4.1 多层结构的剥离工艺 | 第54-59页 |
| 4.1.1 多层结构剥离工艺流程 | 第55-56页 |
| 4.1.2 多层结构剥离工艺中的关键工艺 | 第56-57页 |
| 4.1.3 光栅结构对比以及理论分析 | 第57-59页 |
| 4.2 基于改进工艺的单层亚波长金属光栅测试 | 第59-61页 |
| 4.2.1 测试结果以及角度误差对比 | 第59-61页 |
| 4.3 总结 | 第61-62页 |
| 5. 结论与展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
