| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 ZnO的基本性质和研究历程 | 第13-17页 |
| 1.2.1 ZnO的结构 | 第13-15页 |
| 1.2.2 ZnO的本征缺陷 | 第15-16页 |
| 1.2.3 ZnO材料的研究应用 | 第16-17页 |
| 1.3 ZnO掺杂的相关研究 | 第17-20页 |
| 1.3.1 ZnO施主掺杂 | 第18页 |
| 1.3.2 ZnO受主掺杂 | 第18-19页 |
| 1.3.3 等价离子掺杂 | 第19-20页 |
| 1.4 本课题的选择和研究内容 | 第20-25页 |
| 1.4.1 Mg_xZn_(1-x)O薄膜的研究 | 第20-21页 |
| 1.4.2 ZnO_(1-y)S_y薄膜的研究 | 第21-22页 |
| 1.4.3 本课题的选题思路 | 第22-24页 |
| 1.4.4 本课题的研究内容 | 第24-25页 |
| 2 ZnO基外延薄膜的制备和分析测试方法 | 第25-43页 |
| 2.1 ZnO基外延薄膜制备方法简介 | 第25-29页 |
| 2.1.1 电子束蒸发法(EBE) | 第25-26页 |
| 2.1.2 磁控溅射法(MS) | 第26-27页 |
| 2.1.3 金属有机化学气相沉积法(MOCVD) | 第27-28页 |
| 2.1.4 分子束外延法(MBE) | 第28-29页 |
| 2.1.5 脉冲激光沉积法(PLD) | 第29页 |
| 2.2 脉冲激光沉积技术 | 第29-35页 |
| 2.2.1 脉冲激光的发展 | 第29-30页 |
| 2.2.2 脉冲激光沉积的原理 | 第30-32页 |
| 2.2.3 脉冲激光沉积的特点 | 第32页 |
| 2.2.4 脉冲激光沉积设备介绍 | 第32-35页 |
| 2.3 Mg_xZr_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的制备工艺 | 第35-38页 |
| 2.4 Mg_xZr_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的表征手段 | 第38-43页 |
| 2.4.1 X射线衍射(XRD) | 第38-39页 |
| 2.4.2 X射线光电子能谱分析(XPS) | 第39-40页 |
| 2.4.3 紫外-可见分光光度计(UV-VIS) | 第40-41页 |
| 2.4.4 原子力显微镜(AFM) | 第41-42页 |
| 2.4.5 二次离子质谱仪(SIMS) | 第42-43页 |
| 3 MgZnOS薄膜在c-面蓝宝石上的生长及其性能的研究 | 第43-68页 |
| 3.1 温度系列薄膜的制备 | 第43-44页 |
| 3.2 温度系列薄膜的实验结果和讨论 | 第44-51页 |
| 3.2.1 不同衬底温度制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y的成份分析 | 第44-45页 |
| 3.2.2 不同衬底温度制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y的结构研究 | 第45-46页 |
| 3.2.3 不同衬底温度制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y的带隙研究 | 第46-48页 |
| 3.2.4 不同衬底温度制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y的表面形貌观察 | 第48-51页 |
| 3.3 氧压系列薄膜的制备 | 第51-52页 |
| 3.4 氧压系列薄膜的实验结果与讨论 | 第52-67页 |
| 3.4.1 不同氧压制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的成份分析 | 第52-56页 |
| 3.4.2 不同氧压制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的结构研究 | 第56-61页 |
| 3.4.3 不同氧压制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的带隙研究 | 第61-65页 |
| 3.4.4 不同氧压制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的表面形貌观察 | 第65-67页 |
| 3.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 4 MgZnOS薄膜在a-面蓝宝石上的生长及其性能的研究 | 第68-85页 |
| 4.1 样品的制备 | 第68-69页 |
| 4.2 实验结果与讨论 | 第69-83页 |
| 4.2.1 不同氧压制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的成份分析 | 第69-70页 |
| 4.2.2 不同氧压制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的结构研究 | 第70-76页 |
| 4.2.3 不同氧压制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的带隙研究 | 第76-79页 |
| 4.2.4 不同氧压制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的表面形貌观察 | 第79-83页 |
| 4.3 本章小结 | 第83-85页 |
| 5 MgZnOS薄膜在m-面蓝宝石上的生长及其性能的研究 | 第85-93页 |
| 5.1 样品的制备 | 第85-86页 |
| 5.2 实验结果与讨论 | 第86-91页 |
| 5.2.1 实验初步探究 | 第86-87页 |
| 5.2.2 不同氧压制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的成份分析 | 第87-88页 |
| 5.2.3 不同氧压制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的结构研究 | 第88-89页 |
| 5.2.4 不同氧压制备Mg_xZn_(1-x)O_(1-y)S_y薄膜的带隙研究 | 第89-91页 |
| 5.3 本章小结 | 第91-93页 |
| 全文总结 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-105页 |
| 附录 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106页 |
