| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 飞秒激光材料加工的现状 | 第9-13页 |
| 1.1.1 飞秒激光特点和发展历程 | 第9-10页 |
| 1.1.2 飞秒激光加工的优势 | 第10-12页 |
| 1.1.3 高重复频率飞秒激光加工的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2 飞秒激光诱导铌酸锂晶体微结构 | 第13-15页 |
| 1.2.1 掺镁铌酸锂晶体的光学优势 | 第13页 |
| 1.2.2 飞秒激光诱导铌酸锂波导的研究进展 | 第13-15页 |
| 1.3 论文的主要内容和章节安排 | 第15-16页 |
| 第二章 激光烧蚀理论及热累积效应 | 第16-22页 |
| 2.1 飞秒激光加工的基本理论 | 第16-19页 |
| 2.1.1 光电离 | 第16-17页 |
| 2.1.2 雪崩电离 | 第17-18页 |
| 2.1.3 等离子体的自由载流子吸收 | 第18-19页 |
| 2.2 高重复频率飞秒激光加工的热效应 | 第19-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 高重频光子晶体光纤飞秒激光加工系统 | 第22-27页 |
| 3.1 光子晶体光纤飞秒激光加工系统 | 第22-24页 |
| 3.1.1 光子晶体光纤飞秒激光器 | 第22-23页 |
| 3.1.2 微加工系统 | 第23-24页 |
| 3.2 飞秒激光加工中的技术方法 | 第24-26页 |
| 3.2.1 加工方式的确定 | 第24-25页 |
| 3.2.2 焦点位置的判断 | 第25-26页 |
| 3.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第四章 高重频光纤飞秒激光加工掺镁铌酸锂晶体微结构 | 第27-35页 |
| 4.1 晶体表面静态烧蚀的形貌分析 | 第27-30页 |
| 4.1.1 掺镁铌酸锂晶体静态打点的分层结构 | 第27-28页 |
| 4.1.2 高重复频率飞秒激光静态打点温度场分布和表面 | 第28-30页 |
| 4.2 不同加工参数对烧蚀面积的影响 | 第30-31页 |
| 4.3 掺镁铌酸锂晶体表面的烧蚀阈值 | 第31-34页 |
| 4.3.1 烧蚀阈值的计算方法 | 第31-32页 |
| 4.3.2 X、Y和Z切掺镁铌酸锂晶体的烧蚀阈值 | 第32-34页 |
| 4.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第五章 高重频光纤飞秒激光在掺镁铌酸锂晶体中的刻线实验 | 第35-49页 |
| 5.1 高重频飞秒激光在掺镁铌酸锂晶体表面的刻线结构 | 第35-39页 |
| 5.1.1 晶体刻线形貌的特点 | 第35-38页 |
| 5.1.2 激光功率和扫描速度对刻线宽度的影响 | 第38-39页 |
| 5.2 高重频飞秒激光诱导掺镁铌酸锂晶体内部的波导结构 | 第39-46页 |
| 5.2.1 扫描速度对波导宽度的影响 | 第40-43页 |
| 5.2.2 脉冲功率对波导宽度的影响 | 第43-44页 |
| 5.2.3 波导端面形貌分析 | 第44-46页 |
| 5.3 掺镁铌酸锂晶体的切向对烧蚀形貌的影响 | 第46-48页 |
| 5.3.1 不同切向晶体的静态烧蚀形貌 | 第46-47页 |
| 5.3.2 不同切向晶体的表面刻线形貌 | 第47-48页 |
| 5.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第六章 总结与展望 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
