| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·RF MEMS/NEMS 开关现状及发展趋势 | 第10-13页 |
| ·MEMS/NEMS 开关的驱动方法 | 第11-12页 |
| ·MEMS 开关的类型 | 第12-13页 |
| ·碳纳米管的特性及NEMS 应用 | 第13-16页 |
| ·碳纳米管的介绍和分类 | 第13-15页 |
| ·碳纳米管的性质 | 第15-16页 |
| 第二章 NEMS 开关的力学分析 | 第16-28页 |
| ·NEMS 建模方法的分析比较 | 第16-18页 |
| ·从头算法 | 第16页 |
| ·分子动力学方法（MD） | 第16页 |
| ·有限元方法 | 第16-17页 |
| ·边界元方法 | 第17页 |
| ·连续介质力学方法 | 第17-18页 |
| ·多尺度模拟方法 | 第18页 |
| ·基于CNT 的RF NEMS 开关的结构分析 | 第18-19页 |
| ·NEMS 开关的理论分析 | 第19-26页 |
| ·电荷分布以及静电力 | 第21-22页 |
| ·范德华力 | 第22-24页 |
| ·非线性弹性方程 | 第24-26页 |
| ·NEMS 开关的吸合电压 | 第26-28页 |
| 第三章 NEMS 开关的三维模型的建立与分析 | 第28-39页 |
| ·ANSYS 介绍 | 第28-29页 |
| ·CAE 和ANSYS | 第28-29页 |
| ·耦合场分析方法 | 第29页 |
| ·NEMS 开关的三维模型分析 | 第29-35页 |
| ·加入远场单元的NEMS 开关仿真 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 NEMS 开关的三维ROM 模型的建立与分析 | 第39-47页 |
| ·ROM 方法 | 第39-40页 |
| ·ROM144 单元 | 第40-41页 |
| ·NEMS 开关的ROM 模型分析 | 第41-46页 |
| ·有限动力学(大变形)对于结构响应的影响 | 第42-43页 |
| ·NEMS 开关的几何参数与机电特性的关系 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 NEMS 开关的一维有限元模型 | 第47-60页 |
| ·机电换能单元介绍 | 第47-48页 |
| ·TRANS126 的静态稳定性 | 第48-49页 |
| ·基于 TRANS126 的一维降阶模型 | 第49-51页 |
| ·仿真结果和分析 | 第51-57页 |
| ·开关几何特征对机电特性的影响 | 第51-56页 |
| ·材料性质对机电特性的影响 | 第56-57页 |
| ·仿真结果分析 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 NEMS 开关的工艺制作 | 第60-68页 |
| ·基于碳纳米管的NEMS 器件的制备方法 | 第60-64页 |
| ·随机分散法 | 第60页 |
| ·纳米操作法 | 第60-61页 |
| ·电泳方法 | 第61页 |
| ·自组装方法 | 第61-62页 |
| ·利用催化剂生长的方法 | 第62-63页 |
| ·纳米喷泉探头（NFP） | 第63-64页 |
| ·基于纳米喷泉探头(NFP)的NEMS 开关的制造 | 第64-66页 |
| ·NEMS 开关的设计 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第七章 总结和展望 | 第68-70页 |
| ·论文的主要内容 | 第68-69页 |
| ·对进一步研究工作的展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第75-76页 |