静电柔性振膜型微泵的理论分析和相关键合工艺研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-16页 |
| 1.1.1 微机电系统 | 第13-15页 |
| 1.1.2 微泵 | 第15页 |
| 1.1.3 静电柔性振膜微泵的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.2 文研究的目的、内容和方法 | 第16-20页 |
| 1.2.1 研究目的及意义 | 第16-17页 |
| 1.2.2 静电振膜微泵的理论建模分析 | 第17-19页 |
| 1.2.3 静电振膜微泵的封装键合工艺 | 第19-20页 |
| 第二章 静电柔性振膜微泵的理论建模分析 | 第20-39页 |
| 2.1 引言 | 第20-21页 |
| 2.2 Saif 模型及最小能量法 | 第21-23页 |
| 2.3 双腔静电微泵的建模 | 第23-29页 |
| 2.3.1 基本假设 | 第23-24页 |
| 2.3.2 理论建模思想 | 第24页 |
| 2.3.3 理论计算推导 | 第24-26页 |
| 2.3.4 算例 | 第26-27页 |
| 2.3.5 比较 | 第27-29页 |
| 2.4 参数讨论 | 第29-31页 |
| 2.4.1 振膜厚度 | 第29页 |
| 2.4.2 介电层 | 第29-31页 |
| 2.5 优化 | 第31-38页 |
| 2.5.1 双驱动方式 | 第31-32页 |
| 2.5.2 腔体型线对压缩性能的影响 | 第32-35页 |
| 2.5.3 凸起型腔体讨论 | 第35-38页 |
| 2.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 微泵的键合工艺 | 第39-68页 |
| 3.1 微泵封装键合工艺 | 第39-43页 |
| 3.1.1 键合粘结剂 | 第39-41页 |
| 3.1.2 热固性粘结剂ATSP 的配制原理 | 第41-43页 |
| 3.2 ATSP 的研制步骤和方法 | 第43-53页 |
| 3.2.1 d-HQ 的制取 | 第45-46页 |
| 3.2.2 d-HBA 的制取 | 第46-47页 |
| 3.2.3 HQDA 的制取 | 第47-49页 |
| 3.2.4 ABA 的制取 | 第49页 |
| 3.2.5 A-1 的制取 | 第49-51页 |
| 3.2.6 C-1 的制取 | 第51页 |
| 3.2.7 ATSP 的配制 | 第51-52页 |
| 3.2.8 ATSP 研制小结 | 第52-53页 |
| 3.3 ATSP 键合试验 | 第53-66页 |
| 3.3.1 ATSP 的旋涂工艺 | 第54-56页 |
| 3.3.2 基于ATSP 的键合试验 | 第56-59页 |
| 3.3.3 键合效果和强度测试 | 第59-62页 |
| 3.3.4 键合试验比较 | 第62-63页 |
| 3.3.5 键合试验小结 | 第63-66页 |
| 3.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 第四章 总结与展望 | 第68-75页 |
| 4.1 课题研究工作概述和研究成果 | 第68-69页 |
| 4.1.1 静电柔性振膜微泵的理论建模分析 | 第68-69页 |
| 4.1.2 微泵的制造和封装键合工艺 | 第69页 |
| 4.2 研究展望 | 第69-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第76页 |
