首页--工业技术论文--无线电电子学、电信技术论文--无线通信论文--光波通信、激光通信论文

MEMS中热波导光开关的热学及力学特性研究和优化

摘要第3-4页
ABSTRACT第4-5页
1 绪论第8-18页
    1.1 光通讯技术的发展第8页
    1.2 光开关简介第8-11页
        1.2.1 光开关的应用第8页
        1.2.2 光开关的分类第8-11页
        1.2.3 光开关的性能参数第11页
    1.3 热光开关的研究进展第11-15页
    1.4 本文的研究内容第15-18页
2 广义热弹性理论及应用第18-34页
    2.1 引言第18页
    2.2 非傅里叶热传导理论的发展第18-20页
        2.2.1 非傅里叶热传导理论的研究现状第18-19页
        2.2.2 非傅里叶热传导理论模型第19-20页
    2.3 热弹性理论第20-21页
        2.3.1 经典热弹性理论第20页
        2.3.2 广义热弹性理论第20-21页
    2.4 热力耦合问题的研究第21-23页
        2.4.1 MEMS 中的热力耦合第21-22页
        2.4.2 热力耦合方程第22-23页
    2.5 运用广义热弹性理论对梁的热振动问题的研究第23-32页
        2.5.1 热振动研究简介第23-25页
        2.5.2 梁谐振器模型第25-27页
        2.5.3 计算对比第27-32页
        2.5.4 结论第32页
    2.6 本章小结第32-34页
3 热波导光开关功耗与响应速度的研究与优化第34-50页
    3.1 引言第34页
    3.2 热光开关模型第34-37页
        3.2.1 热光开关的热传导模型第34-36页
        3.2.2 材料参数与结构尺寸第36-37页
    3.3 材料参数与芯层形状对光开关热学性能的影响第37-42页
        3.3.1 包层材料对光开关的影响第37-38页
        3.3.2 材料延迟时间对光开关的影响第38-41页
        3.3.3 芯层形状对光开关影响第41-42页
    3.4 器件结构对热光开关的影响与优化设计第42-47页
        3.4.1 双侧真空隔离槽结构第42-45页
        3.4.2 聚合物隔热层结构第45-47页
    3.5 本章小结第47-50页
4 热波导光开关的热失配分析第50-74页
    4.1 引言第50页
    4.2 热波导光开关中曲率分析第50-60页
        4.2.1 模型建立第50-51页
        4.2.2 理论推导第51-56页
        4.2.3 计算讨论第56-60页
    4.3 热光开关界面处缺陷的形成与模型简化第60-64页
        4.3.1 界面处缺陷的形成第60-62页
        4.3.2 界面缺陷模型简化第62-64页
    4.4 I 型应力强度因子的计算第64-68页
        4.4.1 断裂力学及应力强度因子外推法介绍第64-65页
        4.4.2 运用热弹性理论建立计算模型第65-67页
        4.4.3 不同条件下 I 型应力强度因子的变化第67-68页
    4.5 II 型应力强度因子的计算第68-70页
        4.5.1 模型建立第68-69页
        4.5.2 不同条件下 II 型应力强度因子的变化第69-70页
    4.6 能量释放率计算第70-73页
    4.7 本章小结第73-74页
5 结论与展望第74-76页
    5.1 结论第74-75页
    5.2 展望第75-76页
致谢第76-78页
参考文献第78-84页
附录第84页
    A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文第84页
    B. 作者在攻读硕士学位期间参加的科研项目第84页

论文共84页,点击 下载论文
上一篇:ULSI铜互连线微观结构和应力研究
下一篇:模拟失重条件下对骨髓体外成骨能力及承重骨影响的研究