铸造多晶硅材料中氧缺陷的研究
| 第一章 前言 | 第7-9页 |
| 第二章 文献综述 | 第9-23页 |
| 2.1 引言 | 第9页 |
| 2.2 太阳电池材料的发展概况 | 第9-10页 |
| 2.3 太阳电池的原理及其材料特性的联系 | 第10-14页 |
| 2.3.1 太阳电池的工作原理 | 第10-12页 |
| 2.3.2 表征太阳能电池性能的基本参数 | 第12-13页 |
| 2.3.3 影响太阳能电池转换效率的因素 | 第13-14页 |
| 2.4 铸造多晶硅材料的工艺和特性 | 第14-18页 |
| 2.4.1 铸造多晶硅中氧、碳的来源、分布 | 第16-17页 |
| 2.4.2 硅中氧、碳的基本性质 | 第17-18页 |
| 2.5 晶体硅中的氧关施主 | 第18-20页 |
| 2.6 晶体硅中的氧沉淀 | 第20-22页 |
| 2.7 评论 | 第22-23页 |
| 第三章 实验方案及仪器介绍 | 第23-32页 |
| 3.1 实验方案 | 第23-26页 |
| 3.1.1 热施主实验方案 | 第23-24页 |
| 3.1.2 氧沉淀实验方案 | 第24-26页 |
| 3.2 实验设备与分析测试仪器 | 第26-32页 |
| 3.2.1 SZ-85型数字式四探针测试仪 | 第26-29页 |
| 3.2.2 傅立叶红外仪及硅中氧的测量 | 第29-32页 |
| 第四章 铸造多晶硅中热施主形成和消除规律研究 | 第32-40页 |
| 4.1 引言 | 第32页 |
| 4.2 实验结果 | 第32-37页 |
| 4.3 讨论 | 第37-39页 |
| 4.4 结论 | 第39-40页 |
| 第五章 铸造多晶硅中氧沉淀规律的研究 | 第40-56页 |
| 5.1 引言 | 第40页 |
| 5.2 单步退火研究晶体硅中的氧沉淀 | 第40-50页 |
| 5.2.1 实验结果 | 第40-49页 |
| 5.2.2 结果讨论 | 第49-50页 |
| 5.3 两步退火研究晶体硅中的氧沉淀 | 第50-55页 |
| 5.3.1 实验结果 | 第50-54页 |
| 5.3.2 结果讨论 | 第54-55页 |
| 5.4 结论 | 第55-56页 |
| 第六章 总结 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-64页 |
| 在硕士攻读期间发表的论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
