AFM电场诱导氧化加工中微弱电流的检测

中文摘要	第3-4页
英文摘要	第4页
第一章 绪论	第7-17页
1.1 纳米科技概述	第7-9页
1.2 纳米科技的应用	第9-11页
1.3 纳米加工技术	第11-14页
1.4 本课题的研究现状	第14-15页
1.5 本课题的意义和主要研究工作	第15-17页
第二章 AFM电场诱导氧化理论	第17-29页
2.1 引言	第17-18页
2.2 原子力显微镜(AFM)	第18-20页
2.3 AFM电场诱导阳极氧化机理	第20-27页
2.4 硅表面的电场氧化机理	第27-29页
第三章 基于AFM的纳米加工系统	第29-39页
3.1 DI多功能扫描探针显微镜	第29-31页
3.2 纳米加工系统的设计	第31-35页
3.3 探针与样品的制备	第35-39页
第四章 基于AFM阳极氧化下微弱电流的测量	第39-60页
4.1 引言	第39-40页
4.2 探针与样品之间的隧道效应和场发射效应	第40-44页
4.3 点加工过程中微弱电流的检测	第44-52页
4.4 线加工过程中微弱电流的检测	第52-60页
第五章 误差分析和结构评价	第60-70页
5.1 基于AFM的纳米加工过程的误差分析	第60-65页
5.2 影响AFM加工系统的其它因素	第65-66页
5.3 AFM加工结构的形状评价	第66-70页
第六章 结论与展望	第70-72页
参考文献	第72-78页
攻读硕士期间发表的论文和科研情况	第78-79页
致谢	第79页