| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| 1.1 本课题的研究背景 | 第7-8页 |
| 1.2 MEMS 技术及应用 | 第8-9页 |
| 1.3 激光微细加工技术 | 第9-11页 |
| 1.4 准分子激光微加工 | 第11-15页 |
| 1.4.1 准分子激光器 | 第11-12页 |
| 1.4.2 准分子激光微加工的优点 | 第12-13页 |
| 1.4.3 准分子激光微加工的两种方式 | 第13-14页 |
| 1.4.4 准分子激光微加工系统 | 第14-15页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 紫外激光刻蚀聚合物材料的特点和理化模型 | 第16-24页 |
| 2.1 引言 | 第16-17页 |
| 2.2 准分子激光刻蚀聚合物材料的特点 | 第17-19页 |
| 2.3 光化学模型 | 第19-20页 |
| 2.4 光热模型 | 第20-21页 |
| 2.5 光热-光化学模型 | 第21-23页 |
| 2.6 羽辉在刻蚀过程中的影响 | 第23页 |
| 2.7 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 高聚物材料和准分子激光的相互作用机理研究 | 第24-52页 |
| 3.1 引言 | 第24-25页 |
| 3.2 准分子激光和聚合物材料的相互作用 | 第25-28页 |
| 3.3 高聚物材料刻蚀前后的拉曼光谱分析 | 第28-34页 |
| 3.3.1 拉曼散射原理 | 第28-29页 |
| 3.3.2 样品制备和测试 | 第29-30页 |
| 3.3.3 图谱分析 | 第30-34页 |
| 3.4 高聚物材料刻蚀前后的XPS 谱分析 | 第34-51页 |
| 3.4.1 XPS 谱概述 | 第34-35页 |
| 3.4.2 样品制备和测试条件 | 第35页 |
| 3.4.3 PMMA 的XPS 谱分析 | 第35-44页 |
| 3.4.4 PTFE 的XPS 谱分析 | 第44-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 准分子激光刻蚀 PMMA 的工艺研究 | 第52-72页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 准分子激光光源 | 第52-55页 |
| 4.3 刻蚀实验和测量 | 第55-58页 |
| 4.4 KRF 准分子激光刻蚀 PMMA 的刻蚀率 | 第58-63页 |
| 4.4.1 刻蚀率和脉冲数的关系 | 第58-60页 |
| 4.4.2 刻蚀率和入射能量的关系 | 第60-63页 |
| 4.5 KRF 准分子激光刻蚀 PMMA 的粗糙度 | 第63-68页 |
| 4.5.1 粗糙度随脉冲数的变化 | 第63-64页 |
| 4.5.2 粗糙度随入射能量的变化 | 第64-65页 |
| 4.5.3 PMMA 刻蚀前后的表面形貌 | 第65-68页 |
| 4.6 高速氮气流对KRF 激光刻蚀PMMA 的影响 | 第68-71页 |
| 4.6.1 高速氮气流对刻蚀率和粗糙度的影响 | 第68-70页 |
| 4.6.2 高速氮气流对刻蚀表面的改善 | 第70-71页 |
| 4.7 本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
