| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 硅基光栅波导耦合器件研究概述 | 第11-13页 |
| 1.1.1 集成光学研究概述 | 第11页 |
| 1.1.2 硅基波导光栅概述 | 第11-13页 |
| 1.2 亚波长金属光栅研究概述 | 第13-17页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第19-20页 |
| 第二章 波导光栅耦合器件的特性分析和制备流程 | 第20-54页 |
| 2.1 波导光栅耦合器件的特性分析 | 第20-29页 |
| 2.1.1 波导光栅设计的基本原理 | 第20-23页 |
| 2.1.2 入射角度对耦合效率的影响 | 第23-24页 |
| 2.1.3 光栅参数变化对耦合效率的影响 | 第24-27页 |
| 2.1.4 硅波导层和Si O2层厚度对耦合效率的影响 | 第27-29页 |
| 2.2 硅基波导光栅耦合器件的制作流程 | 第29-44页 |
| 2.2.1 电子束光刻 | 第30-38页 |
| 2.2.2 反应离子刻蚀 | 第38-42页 |
| 2.2.3 硅基波导光栅耦合器件的参数设计 | 第42-44页 |
| 2.3 硅基波导耦合器件的测试 | 第44-53页 |
| 2.3.1 测试平台简介 | 第44-47页 |
| 2.3.2 测试操作过程 | 第47-53页 |
| 2.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第三章 亚波长金属光栅耦合器件的设计 | 第54-62页 |
| 3.1 亚波长金属光栅的设计和模拟 | 第54-60页 |
| 3.2 亚波长金属光栅的一些特性 | 第60-61页 |
| 3.2.1 亚波长金属光栅的带宽特性 | 第60页 |
| 3.2.2 亚波长金属光栅的角度敏感性 | 第60-61页 |
| 3.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 结束语 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第67页 |