| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 非成像光学 | 第12-16页 |
| 1.1.1 非成像光学起源与发展 | 第12-13页 |
| 1.1.2 非成像光学相关概念(边缘光线原理、光学扩展量和能量利用率) | 第13-15页 |
| 1.1.3 非成像光学应用 | 第15-16页 |
| 1.2 自由曲面非成像光学设计 | 第16-23页 |
| 1.2.1 光学自由曲面 | 第16-17页 |
| 1.2.2 单个自由曲面设计方法概述 | 第17-21页 |
| 1.2.3 双自由曲面设计方法概述 | 第21-23页 |
| 1.3 课题研究内容与创新 | 第23-25页 |
| 2 柱坐标系下的单个自由曲面准直光束整形设计方法 | 第25-33页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 自由曲面光学设计基本定律和设计思路 | 第25-26页 |
| 2.3 柱坐标系下的椭圆型Monge-Ampere方程推导 | 第26-29页 |
| 2.4 数值求解 | 第29-30页 |
| 2.5 柱坐标系下单个自由曲面设计方法验证 | 第30-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 直角坐标系下的单个自由曲面准直光束整形设计方法 | 第33-43页 |
| 3.1 光刻离轴照明 | 第33-35页 |
| 3.2 直角坐标系下的自由曲面设计方法 | 第35-37页 |
| 3.3 离轴照明设计实例 | 第37-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 双自由曲面准直光束整形设计方法 | 第43-55页 |
| 4.1 引言 | 第43-44页 |
| 4.2 基于准直光束整形的双自由曲面设计方法 | 第44-46页 |
| 4.3 数值求解 | 第46-48页 |
| 4.4 设计实例 | 第48-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 5 基于激光光束整形的双自由曲面设计方法验证 | 第55-64页 |
| 5.1 模拟结果分析 | 第55-59页 |
| 5.2 激光光束整形实验验证 | 第59-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 总结与展望 | 第64-67页 |
| 6.1 总结 | 第64-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 附录1 硕士期间发表论文 | 第72-73页 |
| 附录2 硕士期间申请专利 | 第73-74页 |
| 作者简历 | 第74页 |
