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用于ESP车身电子稳定系统的小型高压压力传感器研制

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-19页
    1.1 论文研究背景及意义第10-11页
    1.2 ESP系统及所需传感器发展与应用状况第11-17页
        1.2.1 ESP系统国内外发展概况第11-13页
        1.2.2 ESP系统所需的传感器第13-15页
        1.2.3 压力传感器发展现状第15-17页
    1.3 论文研究内容及章节安排第17-19页
第二章 小型高压压力传感器的方案设计第19-29页
    2.1 引言第19页
    2.2 现在主流压力传感器的类型第19-24页
    2.3 车身电子稳定系统及对压力传感器的要求第24-27页
        2.3.1 性能指标的提出第24-25页
        2.3.2 重点指标的解析第25-26页
        2.3.3 设计难点的提出第26-27页
    2.4 小型高压压力传感器的解决方案第27-28页
    2.5 本章小结第28-29页
第三章 小型高压压力传感器的机械结构设计第29-48页
    3.1 引言第29页
    3.2 整机尺寸及接口定义设计第29-32页
        3.2.0 整机尺寸设计第29页
        3.2.1 压力接口的设计第29-32页
        3.2.2 电气接口的设计第32页
    3.3 压力膜片的结构设计第32-35页
        3.3.1 膜厚设计第32-34页
        3.3.2 R角设计第34-35页
    3.4 硅应变计的MEMS工艺设计第35-37页
    3.5 微熔技术工艺设计第37-39页
    3.6 有限元分析及应力消除工艺设计第39-46页
        3.6.1 合理的设计及有限元分析第39-43页
        3.6.2 机械加工的应力产生与消除第43-45页
        3.6.3 焊接应力产生与消除第45页
        3.6.4 烧结应力产生与消除第45-46页
    3.7 装配方式与工艺最简化分析与设计第46页
    3.8 本章小结第46-48页
第四章 小型高压压力传感器的电气设计第48-55页
    4.1 引言第48页
    4.2 整机电气性能要求及设计指标分析第48-49页
    4.3 信号调理电路分析及设计选型第49-52页
        4.3.1 分离器件方案第49-50页
        4.3.2 集成IC方案第50-52页
        4.3.3 方案选择第52页
    4.4 电气可靠性设计第52-54页
        4.4.1 敏感组件部分采用的EMC手段第53页
        4.4.2 整机EMC防护控制手段第53-54页
    4.5 本章小结第54-55页
第五章 小型高压压力传感器的试验验证第55-73页
    5.1 引言第55-56页
    5.2 基本功能性能测试第56-57页
    5.3 例行试验验证第57-70页
        5.3.1 基本性能测试第57-61页
        5.3.2 长期可靠性、稳定性测试第61-66页
        5.3.3 EMC测试第66-69页
        5.3.4 极限试验第69-70页
    5.4 上车路试试验验证第70-71页
    5.5 本章小结第71-73页
总结与展望第73-75页
参考文献第75-79页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第79-80页
致谢第80-81页
附件第81页

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