| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 金刚石 | 第9-11页 |
| 1.1.1 金刚石结构及性能 | 第9-10页 |
| 1.1.2 CVD金刚石薄膜 | 第10-11页 |
| 1.2 CVD金刚石涂层刀具 | 第11-15页 |
| 1.2.1 硬质合金 | 第12页 |
| 1.2.2 硬质合金基体与金刚石薄膜的粘附性 | 第12-13页 |
| 1.2.3 碳化硅中间层 | 第13-14页 |
| 1.2.4 金刚石涂层刀具发展概况 | 第14-15页 |
| 1.4 本论文的研究目的与内容 | 第15-17页 |
| 2 实验 | 第17-31页 |
| 2.1 薄膜沉积原理 | 第17-19页 |
| 2.2 薄膜沉积设备 | 第19-23页 |
| 2.2.1 真空系统 | 第19-20页 |
| 2.2.2 电源系统 | 第20-21页 |
| 2.2.3 冷却系统 | 第21-22页 |
| 2.2.4 配气系统 | 第22-23页 |
| 2.2.5 测温装置 | 第23页 |
| 2.3 薄膜制备参数 | 第23-28页 |
| 2.3.1 灯丝碳化 | 第23页 |
| 2.3.2 基体预处理 | 第23-24页 |
| 2.3.3 偏流偏压 | 第24-26页 |
| 2.3.4 金刚石薄膜偏压形核 | 第26-27页 |
| 2.3.5 金刚石薄膜沉积条件 | 第27页 |
| 2.3.6 SiC薄膜沉积条件 | 第27-28页 |
| 2.4 表征方法 | 第28-30页 |
| 2.4.1 扫描电子显微镜 | 第28-29页 |
| 2.4.2 X射线衍射 | 第29页 |
| 2.4.3 电子探针分析 | 第29页 |
| 2.4.4 拉曼光谱分析 | 第29-30页 |
| 2.4.5 纳米压痕 | 第30页 |
| 2.4.6 工具显微镜 | 第30页 |
| 2.5 切削实验 | 第30-31页 |
| 3 实验结果与分析 | 第31-49页 |
| 3.1 硬质合金钻头上沉积金刚石薄膜 | 第31-38页 |
| 3.1.1 表面形貌 | 第31-34页 |
| 3.1.2 拉曼光谱 | 第34-35页 |
| 3.1.3 切削实验 | 第35-38页 |
| 3.2 硅片上沉积SiC薄膜 | 第38-44页 |
| 3.2.1 表面形貌 | 第38-39页 |
| 3.2.2 截面形貌 | 第39-40页 |
| 3.2.3 相结构 | 第40-41页 |
| 3.2.4 成分 | 第41-42页 |
| 3.2.5 拉曼光谱 | 第42-43页 |
| 3.2.6 纳米压痕 | 第43-44页 |
| 3.3 YG6X硬质合金刀片上沉积SiC中间层与顶层金刚石薄膜 | 第44-49页 |
| 3.3.1 表面形貌 | 第44-46页 |
| 3.3.2 相结构 | 第46页 |
| 3.3.3 拉曼光谱 | 第46-49页 |
| 4 讨论 | 第49-52页 |
| 4.1 硬质合金基体对顶层金刚石薄膜的影响 | 第49页 |
| 4.2 热丝温度对SiC薄膜的影响 | 第49-50页 |
| 4.3 气压对SiC薄膜的影响 | 第50页 |
| 4.4 SiC薄膜成分 | 第50页 |
| 4.5 SiC中间层 | 第50-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |