集成式压电六维力传感器测量原理与技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-16页 |
| 1.3 选题的科学依据 | 第16-18页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 压电六维力测量技术 | 第20-27页 |
| 2.1 六维力测量原理 | 第20-21页 |
| 2.2 压电效应 | 第21-24页 |
| 2.2.1 正压电效应 | 第22页 |
| 2.2.2 压电效应表达式 | 第22-24页 |
| 2.3 多点支撑式压电六维力传感器空间结构布局 | 第24-26页 |
| 2.3.1 四支点布局 | 第24-25页 |
| 2.3.2 多支点布局 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 六维力作用下石英晶片压电效应分析 | 第27-37页 |
| 3.1 应力分析 | 第27-35页 |
| 3.1.1 平衡微分方程及相容条件 | 第27-29页 |
| 3.1.2 各向异性体力学空间问题分析 | 第29-31页 |
| 3.1.3 六维力作用下石英晶片内部应力场求解 | 第31-35页 |
| 3.2 极化分析 | 第35-36页 |
| 3.2.1 晶体的介电性质 | 第35页 |
| 3.2.2 电极化强度 | 第35-36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 4 六维力作用下面域电荷分布规律数值分析 | 第37-51页 |
| 4.1 压电晶体坐标系和基本切型 | 第37-38页 |
| 4.2 晶面电荷量与六维力系之间的映射关系分析 | 第38-45页 |
| 4.2.1 X0切型晶片晶面电荷分布数值计算 | 第38-42页 |
| 4.2.2 Y0切型晶片晶面电荷分布数值计算 | 第42-45页 |
| 4.3 Ansys压电仿真分析 | 第45-50页 |
| 4.3.1 X0切型晶片电势电场分析 | 第45-48页 |
| 4.3.2 Y0切型晶片电势电场分析 | 第48-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 集成式压电六维力传感器静态标定 | 第51-67页 |
| 5.1 传感器精度指标 | 第51-52页 |
| 5.2 静态标定实验 | 第52-61页 |
| 5.2.1 静态标定系统 | 第52-53页 |
| 5.2.2 静态力标定 | 第53-59页 |
| 5.2.3 静态力矩标定 | 第59-61页 |
| 5.3 误差分析及补偿 | 第61-66页 |
| 5.3.1 误差分析 | 第61-63页 |
| 5.3.2 向间补偿分析 | 第63-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 结论与展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
