| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 研究现状及分析 | 第9-15页 |
| 1.2.1 AFM刻划深度控制加工方式研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 AFM机械刻划加工方式研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.3 基于振动的AFM机械刻划加工方式研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 AFM振动辅助加工系统搭建及加工过程研究 | 第17-34页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 AFM振动辅助加工系统搭建及设备特性分析 | 第17-23页 |
| 2.2.1 AFM振动辅助加工系统搭建和实验过程说明 | 第17-20页 |
| 2.2.2 运动平台运动特性分析 | 第20-23页 |
| 2.3 AFM振动辅助加工机制分析 | 第23-28页 |
| 2.3.1 AFM振动辅助加工过程实验研究 | 第23-25页 |
| 2.3.2 AFM振动辅助加工原理分析 | 第25-28页 |
| 2.4 AFM振动辅助加工过程AFM跟踪特性分析 | 第28-33页 |
| 2.4.1 比例增益P对加工结果的影响分析 | 第29-30页 |
| 2.4.2 积分增益I对加工结果的影响分析 | 第30-31页 |
| 2.4.3 比例增益P和积分增益I综合作用对加工结果的影响分析 | 第31-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 AFM振动辅助加工工艺实验研究 | 第34-55页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 定位平台进给方向对加工结果的影响研究 | 第34-41页 |
| 3.2.1 不同进给方向下加工过程的理论分析 | 第35-39页 |
| 3.2.2 不同进给方向对加工沟槽形貌影响的实验分析 | 第39-41页 |
| 3.3 振动平台圆周运动频率对加工结果的影响研究 | 第41-45页 |
| 3.3.1 加工速度对刻划PMMA加工结果的影响研究 | 第41-42页 |
| 3.3.2 振动平台圆周运动频率对加工结果影响的理论研究 | 第42-43页 |
| 3.3.3 振动平台圆周运动频率对加工结果影响的实验研究 | 第43-45页 |
| 3.4 振动平台圆周运动幅值对加工结果影响研究 | 第45-48页 |
| 3.4.1 振动平台圆周运动幅值对加工结果影响理论研究 | 第45-46页 |
| 3.4.2 振动平台圆周运动幅值对加工结果影响实验研究 | 第46-48页 |
| 3.5 定位平台进给速度对加工结果影响研究 | 第48-51页 |
| 3.5.1 定位平台进给速度对加工结果影响理论研究 | 第49页 |
| 3.5.2 定位平台进给速度对加工结果影响的实验研究 | 第49-51页 |
| 3.6 AFM探针施加在样品表面的垂直荷载对加工结果的影响研究 | 第51-53页 |
| 3.7 本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 AFM振动辅助加工探针磨损实验研究 | 第55-64页 |
| 4.1 引言 | 第55页 |
| 4.2 探针磨损对AFM振动辅助加工结果影响研究 | 第55-57页 |
| 4.3 光杠杆灵敏度测试过程对针尖磨损影响研究 | 第57-59页 |
| 4.4 AFM振动辅助加工探针磨损过程研究 | 第59-61页 |
| 4.5 垂直荷载对AFM振动辅助加工针尖磨损影响研究 | 第61-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
