单频激光干涉仪非线性原位校正与干涉光强自适应技术
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究的目的与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 单频激光测振技术研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 单频激光测振仪研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 微振动非线性校正技术研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.3 光强自适应技术研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 非线性原位校正技术与机构设计 | 第18-32页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 单频激光干涉测振原理 | 第18-19页 |
| 2.3 非线性原位校正技术 | 第19-22页 |
| 2.3.1 非线性原位校正技术需求分析 | 第20-21页 |
| 2.3.2 原位校正机构力学模型 | 第21-22页 |
| 2.4 非线性原位校正机构设计 | 第22-30页 |
| 2.4.1 振子支撑结构及驱动电路设计 | 第22-25页 |
| 2.4.2 非线性原位校正机构 | 第25-26页 |
| 2.4.3 激振模型仿真分析 | 第26-30页 |
| 2.5 原位校正信号处理单元 | 第30-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 干涉光强自适应技术研究 | 第32-47页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 干涉光强自适应方案 | 第32-37页 |
| 3.2.1 光强自适应控制原理 | 第32-33页 |
| 3.2.2 干涉光强度变化对信噪比的影响 | 第33-35页 |
| 3.2.3 自适应性能参数 | 第35-37页 |
| 3.3 自适应控制算法单元设计 | 第37-46页 |
| 3.3.1 峰值检测 | 第38-39页 |
| 3.3.2 指数分布控制算法 | 第39-41页 |
| 3.3.3 双门限阈值调整法 | 第41-43页 |
| 3.3.4 算法仿真 | 第43-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 系统设计及实验分析 | 第47-66页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 单频激光干涉测量仪系统实验平台 | 第47-49页 |
| 4.2.1 单频干涉测振仪 | 第47-48页 |
| 4.2.2 自适应信号处理卡 | 第48页 |
| 4.2.3 数据采集界面 | 第48-49页 |
| 4.3 非线性原位校正验证实验 | 第49-53页 |
| 4.3.1 原位校正机构稳定性测试 | 第49页 |
| 4.3.2 非线性原位校正测试 | 第49-53页 |
| 4.4 自适应处理卡平台测试 | 第53-58页 |
| 4.4.1 DAC分辨率测试 | 第53页 |
| 4.4.2 动态调节范围测试 | 第53-55页 |
| 4.4.3 静态标准差测试 | 第55页 |
| 4.4.4 动态标准差测试 | 第55-56页 |
| 4.4.5 动态分辨力测试 | 第56-58页 |
| 4.5 系统应用实验 | 第58-64页 |
| 4.5.1 不同反射率测试 | 第58-62页 |
| 4.5.2 不同振幅测试 | 第62-63页 |
| 4.5.3 不同频率测试 | 第63-64页 |
| 4.6 本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
