| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-36页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 氧化锌的基本性质 | 第13-15页 |
| 1.3 氧化锌器件的研究进展 | 第15-34页 |
| 1.3.1 氧化锌基紫外激光器 | 第15-23页 |
| 1.3.2 氧化锌基发光二极管 | 第23-27页 |
| 1.3.3 氧化锌基紫外探测器 | 第27-30页 |
| 1.3.4 氧化锌基能源器件 | 第30-34页 |
| 1.4 本论文选题的依据及主要内容 | 第34-36页 |
| 第2章 ZnO材料和器件的制备方法及表征手段 | 第36-58页 |
| 2.1 ZnO材料的制备方法 | 第36-47页 |
| 2.1.1 水热合成法 | 第36-38页 |
| 2.1.2 电化学生长法 | 第38-39页 |
| 2.1.3 化学气相沉积法 | 第39-41页 |
| 2.1.4 溶胶-凝胶法 | 第41-42页 |
| 2.1.5 磁控溅射 | 第42-45页 |
| 2.1.6 分子束外延 | 第45-46页 |
| 2.1.7 原子层沉积 | 第46-47页 |
| 2.2 器件及电极的制作工艺 | 第47-48页 |
| 2.2.1 旋涂(spin-coating) | 第47页 |
| 2.2.2 光刻技术 | 第47-48页 |
| 2.3 ZnO 材料性能常用的表征方法 | 第48-57页 |
| 2.4 小结 | 第57-58页 |
| 第3章 ZnO/GaN异质结发光二极管 | 第58-82页 |
| 3.1 ZnO量子点紫外发光二极管 | 第59-65页 |
| 3.1.1 ZnO量子点的生长 | 第59-60页 |
| 3.1.2 ZnO量子点的形貌表征 | 第60页 |
| 3.1.3 ZnO量子点的发光和吸收性能表征 | 第60-62页 |
| 3.1.4 ZnO量子点发光二极管器件的制作 | 第62页 |
| 3.1.5 ZnO量子点发光二极管发光性能研究 | 第62-65页 |
| 3.2 ZnO微米线可见发光二极管 | 第65-80页 |
| 3.2.1 ZnO微米团簇的可控生长 | 第65-66页 |
| 3.2.2 ZnO微米团簇微观形貌 | 第66-68页 |
| 3.2.3 生长条件对ZnO微米线形貌的影响 | 第68-69页 |
| 3.2.4 ZnO微米线光致发光特性研究 | 第69-73页 |
| 3.2.5 蓝紫色-橙色发光二极管器件的制作和性能表征 | 第73-78页 |
| 3.2.6 绿色发光二极管器件的制作和性能表征 | 第78-80页 |
| 3.3 小结 | 第80-82页 |
| 第4章 N等离子处理掺杂ZnO单晶及ZnO同质结器件 | 第82-96页 |
| 4.1 氮等离子体处理ZnO单晶 | 第83-92页 |
| 4.1.1 氮等离子体处理方法及实验 | 第83-85页 |
| 4.1.2 氮等离子体处理后ZnO单晶的性能表征 | 第85-92页 |
| 4.2 ZnO同质结器件 | 第92-94页 |
| 4.2.1 ZnO同质结的制作 | 第92-93页 |
| 4.2.2 氧化锌同质结的性能表征 | 第93-94页 |
| 4.3 小结 | 第94-96页 |
| 第5章 Ag纳米颗粒增强ZnO紫外探测器 | 第96-105页 |
| 5.1 Ag纳米颗粒修饰的ZnO薄膜的生长和表征 | 第96-99页 |
| 5.1.1 Ag纳米颗粒修饰的ZnO薄膜的生长 | 第97-98页 |
| 5.1.2 Ag纳米颗粒修饰的ZnO薄膜性能表征 | 第98-99页 |
| 5.2 Ag修饰的ZnO薄膜紫外探测器的制作和性能测试 | 第99-104页 |
| 5.2.1 紫外探测器件的制作 | 第99-100页 |
| 5.2.2 紫外探测器件的性能表征 | 第100-104页 |
| 5.3 小结 | 第104-105页 |
| 第6章 结论与展望 | 第105-107页 |
| 6.1 结论 | 第105-106页 |
| 6.2 展望 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-120页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第120-121页 |
| 指导教师及作者简介 | 第121-122页 |
| 致谢 | 第122页 |
