| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| 1.1 课题研究的背景 | 第10-12页 |
| 1.2 柔性热膜质量流量传感器介绍 | 第12-13页 |
| 1.3 柔性热膜质量流量传感器的国内外研究现状 | 第13-19页 |
| 1.4 本课题主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 柔性热膜质量流量传感器的设计与模拟仿真 | 第21-37页 |
| 2.1 柔性热膜质量流量传感器的测试原理 | 第21-22页 |
| 2.2 柔性热膜质量流量传感器的模拟温度分布求解 | 第22-26页 |
| 2.2.1 FLUENT与DesignModeler建模 | 第22-24页 |
| 2.2.2 FLUENT求解计算与结果 | 第24-26页 |
| 2.3 柔性热膜质量流量传感器的模拟仿真 | 第26-33页 |
| 2.3.1 基底厚度对热膜温度分布的影响 | 第26-28页 |
| 2.3.2 气流速度对热敏电阻传热的影响 | 第28-30页 |
| 2.3.3 热膜间距对热膜温度分布的影响 | 第30-33页 |
| 2.4 柔性热膜质量流量传感器结构的设计 | 第33-35页 |
| 2.4.1 柔性热膜质量流量传感器结构单元的设计 | 第33-34页 |
| 2.4.2 柔性热膜质量流量传感器阵列导线的设计 | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 柔性热膜质量流量传感器的制备与测试 | 第37-56页 |
| 3.1 柔性热膜质量流量传感器薄膜制备方法 | 第37页 |
| 3.2 柔性热膜质量流量传感器薄膜表征方法 | 第37-39页 |
| 3.2.1 台阶仪 | 第37-38页 |
| 3.2.2 TCR测试系统 | 第38-39页 |
| 3.2.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第39页 |
| 3.3 Ni薄膜的制备和性能研究 | 第39-44页 |
| 3.3.1 溅射气压对热敏薄膜电阻温度系数的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.2 衬底温度对热敏薄膜电阻温度系数的影响 | 第40-41页 |
| 3.3.3 溅射功率热敏薄膜电阻温度系数的影响 | 第41-43页 |
| 3.3.4 薄膜厚度对热敏薄膜电阻温度系数的影响 | 第43页 |
| 3.3.5 工艺参数优化结果 | 第43-44页 |
| 3.4 柔性热膜质量流量传感器的制备 | 第44-49页 |
| 3.5 柔性热膜质量流量传感器阵列的测试 | 第49-55页 |
| 3.5.1 柔性热膜质量流量传感器测试电路 | 第49-50页 |
| 3.5.2 柔性热膜质量流量传感器的测试 | 第50-55页 |
| 3.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 结论与展望 | 第56-58页 |
| 4.1 结论 | 第56页 |
| 4.2 展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第63-64页 |