Linnik型白光显微干涉光谱测量系统与方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 微纳米技术现状 | 第10-12页 |
| 1.1.1 超精密加工 | 第11页 |
| 1.1.2 薄膜技术 | 第11-12页 |
| 1.2 微纳检测技术 | 第12-14页 |
| 1.2.1 非光学几何量检测 | 第13页 |
| 1.2.2 光学几何量检测 | 第13-14页 |
| 1.3 白光干涉光谱测量 | 第14-15页 |
| 1.4 论文主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 白光光谱干涉基本理论 | 第17-24页 |
| 2.1 白光干涉基本原理 | 第17-20页 |
| 2.1.1 白光干涉特性 | 第17-18页 |
| 2.1.2 条纹可见度 | 第18-19页 |
| 2.1.3 基本显微干涉模型 | 第19-20页 |
| 2.2 干涉的相干性理论 | 第20-21页 |
| 2.3 测量绝对距离与薄膜特性 | 第21-24页 |
| 第三章 系统的设计与构建 | 第24-42页 |
| 3.1 系统整体设计 | 第24-26页 |
| 3.2 系统硬件构成 | 第26-36页 |
| 3.2.1 运动和机械支撑部分 | 第26-28页 |
| 3.2.2 光学干涉模块 | 第28-31页 |
| 3.2.3 成像和信号采集部分 | 第31-36页 |
| 3.2.4 系统总体搭建安装 | 第36页 |
| 3.3 系统的软件程序 | 第36-42页 |
| 3.3.1 系统硬件控制程序 | 第36-39页 |
| 3.3.2 数据处理软件程序 | 第39-42页 |
| 第四章 白光显微干涉光谱数据处理 | 第42-64页 |
| 4.1 相位提取算法 | 第42-46页 |
| 4.1.1 傅立叶变换 | 第42-43页 |
| 4.1.2 时间相移 | 第43-46页 |
| 4.2 相位提取方法比较 | 第46-50页 |
| 4.2.1 对仿真信号的处理 | 第47-49页 |
| 4.2.2 时间相移步数的选择 | 第49-50页 |
| 4.3 系统非线性相位分析 | 第50-60页 |
| 4.3.1 Michelson结构测量非薄膜结构 | 第50-56页 |
| 4.3.2 Linnik结构测量非薄膜结构 | 第56-60页 |
| 4.3.3 Linnik结构测量薄膜结构 | 第60页 |
| 4.4 薄膜初值预估与局部优化算法 | 第60-64页 |
| 4.4.1 基于非线性相位频率的初值预估理论 | 第61-63页 |
| 4.4.2 局部优化算法的选择 | 第63-64页 |
| 第五章 实验结果与分析 | 第64-72页 |
| 5.1 系统稳定性 | 第64-66页 |
| 5.1.1 光源稳定性 | 第64-65页 |
| 5.1.2 温度稳定性 | 第65-66页 |
| 5.2 实验结果分析 | 第66-72页 |
| 5.2.1 绝对距离测量 | 第66-68页 |
| 5.2.2 薄膜厚度测量 | 第68-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
