基于多铁纳米纤维的压力传感器设计与研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
1 绪论	第8-13页
·选题的背景及意义	第8-9页
·国内外研究现状	第9-11页
·本论文的主要研究内容	第11-13页
2 纳米纤维压力传感器结构原理与参数设计	第13-17页
·纳米纤维压力传感器结构及原理	第13-14页
·纳米纤维压力传感器结构参数设计	第14-16页
·本章小结	第16-17页
3 纳米纤维压力传感器的有限元分析	第17-30页
·方形弹性复合薄膜力学分析	第17-19页
·有限元模型建立	第17-18页
·有限元结果	第18-19页
·纳米纤维的压电分析	第19-28页
·纳米纤维压电材料的本构关系	第19页
·纳米纤维的有限元过程	第19-22页
·纳米纤维的有限元结果	第22-28页
·本章小结	第28-30页
4 多铁纳米纤维压力传感器样片制作与工艺研究	第30-47页
·纳米纤维压力传感器的工艺设计	第30-32页
·纳米纤维压力传感器的工艺研究	第32-46页
·叉指电极的制备及工艺研究	第32-33页
·硅基底的制备及工艺研究	第33-38页
·多铁纳米纤维的制备及工艺研究	第38-42页
·本多铁纳米纤维压力传感器样片制作工艺	第42-46页
·本章小结	第46-47页
5 多铁纳米纤维压力传感器样片测试	第47-61页
·纳米纤维表征与性能	第47-49页
·XRD图谱分析	第47-48页
·SEM图分析	第48页
·铁电性能分析	第48-49页
·测试装置设计与组装调试	第49-60页
·测试系统的原理	第49-50页
·压力容器设计与配件选择	第50-58页
·零件的加工与系统组装调试	第58-60页
·本章小结	第60-61页
结论与展望	第61-62页
参考文献	第62-65页
申请学位期间的研究成果及发表的学术论文	第65-66页
致谢	第66页