| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| ·研究背景与意义 | 第11-12页 |
| ·MEMS 扭转微镜的研究现状 | 第12-23页 |
| ·MEMS 扭转微镜的制造研究 | 第12-17页 |
| ·MEMS 扭转微镜的应用研究 | 第17-22页 |
| ·静电驱动和电磁驱动 MEMS 扭转微镜的控制研究 | 第22-23页 |
| ·本文的研究内容 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第二章 滑模控制理论的基础知识 | 第25-33页 |
| ·滑模控制理论的提出 | 第25页 |
| ·滑模控制的设计思想 | 第25-27页 |
| ·滑模控制理论的发展及应用 | 第27-28页 |
| ·传统滑模控制理论 | 第28-29页 |
| ·滑模控制的抖振问题 | 第28-29页 |
| ·二阶滑模控制 | 第29-32页 |
| ·Twisting 算法 | 第30页 |
| ·Super-Twisting 算法 | 第30-31页 |
| ·Sub-optimal 控制算法 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 带侧面电极的 2D 静电驱动 MEMS 扭转微镜一阶滑模和 Twisting 控制 | 第33-44页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·带侧面电极的 2D 静电驱动 MEMS 扭转微镜的数学模型 | 第33-36页 |
| ·控制算法设计 | 第36-37页 |
| ·仿真和实验 | 第37-43页 |
| ·仿真和实验结果 | 第38-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 带侧面电极的 2D 静电驱动 MEMS 扭转微镜二阶积分滑模控制 | 第44-56页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·基于积分滑模面的二阶滑模控制器设计 | 第44-45页 |
| ·稳定性分析 | 第45-47页 |
| ·控制系统建立和实验结果 | 第47-55页 |
| ·定点控制 | 第48-54页 |
| ·跟踪控制 | 第54页 |
| ·扰动下的系统响应 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 电磁驱动 MEMS 扭转微镜的积分滑模控制与扫描应用 | 第56-68页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·电磁驱动 MEMS 扭转微镜的数学模型 | 第56-57页 |
| ·积分滑模控制策略设计 | 第57-59页 |
| ·基于电磁驱动 MEMS 扭转微镜的激光扫描系统设计 | 第59-61页 |
| ·实验结果 | 第61-67页 |
| ·定点控制 | 第61页 |
| ·跟踪控制 | 第61-67页 |
| ·扫描成像应用 | 第67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 总结与展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-77页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 附件 | 第80页 |
