| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-26页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·纳米复合膜 | 第15-16页 |
| ·纳米复合膜概述 | 第15页 |
| ·纳米多层膜的研究现状与进展 | 第15-16页 |
| ·纳米复合膜的致硬机理 | 第16页 |
| ·纳米多层膜 | 第16-21页 |
| ·纳米多层膜概述 | 第16-17页 |
| ·纳米多层膜的研究现状与进展 | 第17-19页 |
| ·纳米多层膜的致硬机理 | 第19-21页 |
| ·摩擦与磨损 | 第21-24页 |
| ·摩擦 | 第21-22页 |
| ·磨损 | 第22-24页 |
| ·选题意义与研究内容 | 第24-26页 |
| ·选题意义 | 第24页 |
| ·研究内容 | 第24-26页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第26-30页 |
| ·薄膜的制备 | 第26-27页 |
| ·实验设备 | 第26页 |
| ·磁控溅射原理 | 第26-27页 |
| ·薄膜基片处理方法 | 第27页 |
| ·薄膜的表征 | 第27-30页 |
| ·X 射线衍射仪(XRD) | 第27-28页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第28页 |
| ·能量色散谱仪(EDS) | 第28页 |
| ·纳米综合力学测试仪 | 第28-29页 |
| ·摩擦磨损试验机 | 第29-30页 |
| 第3章 ZrBN 复合膜的微结构和摩擦性能 | 第30-38页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·实验材料与方法 | 第30-31页 |
| ·ZrBN 复合膜的制备 | 第30-31页 |
| ·ZrBN 复合膜的表征 | 第31页 |
| ·结果与讨论 | 第31-37页 |
| ·ZrBN 复合膜的微结构 | 第31-33页 |
| ·ZrBN 复合膜的力学性能 | 第33-34页 |
| ·ZrBN 复合膜的室温摩擦性能 | 第34-37页 |
| ·ZrBN 复合膜的高温摩擦性能 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 ZrWN 复合膜的微结构和摩擦性能 | 第38-46页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·实验材料与方法 | 第38-39页 |
| ·ZrWN 复合膜的制备 | 第38-39页 |
| ·ZrWN 复合膜的表征 | 第39页 |
| ·结果与讨论 | 第39-45页 |
| ·ZrWN 复合膜的微结构 | 第39-41页 |
| ·ZrWN 复合膜的力学性能 | 第41-42页 |
| ·ZrWN 复合膜的室温摩擦性能 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 ZrMoN 复合膜的微结构和摩擦性能 | 第46-55页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·实验材料与方法 | 第46-47页 |
| ·ZrMoN 复合膜的制备 | 第46-47页 |
| ·ZrMoN 复合膜的表征 | 第47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-54页 |
| ·ZrMoN 复合膜的微结构 | 第47-48页 |
| ·ZrMoN 复合膜的力学性能 | 第48-49页 |
| ·ZrMoN 复合膜的室温摩擦性能 | 第49-50页 |
| ·ZrMoN 复合膜的高温摩擦性能 | 第50-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第6章 ZrAlMoN 复合膜微结构与摩擦性能研究 | 第55-65页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·实验材料与方法 | 第55-56页 |
| ·ZrAlMoN 复合膜的制备 | 第55-56页 |
| ·ZrAlMoN 复合膜的表征 | 第56页 |
| ·结果与讨论 | 第56-64页 |
| ·ZrAlMoN 复合膜的成分和微结构 | 第56-58页 |
| ·ZrAlMoN 复合膜的力学性能 | 第58-59页 |
| ·ZrAlMoN 复合膜的室温摩擦性能 | 第59-61页 |
| ·ZrAlMoN 复合膜的高温摩擦性能 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第7章 ZrAlN/Mo_2N 多层膜的微结构与摩擦性能 | 第65-77页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·实验材料与方法 | 第65-66页 |
| ·ZrAlN/Mo_2N 多层膜的制备 | 第65-66页 |
| ·ZrAlN/Mo_2N 多层膜的表征 | 第66页 |
| ·结果与讨论 | 第66-75页 |
| ·ZrAlN/Mo_2N 多层膜的微结构 | 第66-68页 |
| ·ZrAlN/Mo_2N 多层膜的力学性能 | 第68-69页 |
| ·ZrAlN/Mo_2N 多层膜的室温摩擦性能 | 第69-71页 |
| ·ZrAlN/Mo_2N 多层膜的高温摩擦性能 | 第71-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 结论 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-87页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88页 |