多晶硅还原炉硅棒温度的无模型自适应模糊控制
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪言 | 第11-18页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第11-13页 |
| ·发展光伏产业和多晶硅的意义 | 第11页 |
| ·多晶硅改良西门子法生产的工艺 | 第11-13页 |
| ·温度对改进西门子法氢还原过程的影响 | 第13页 |
| ·相关技术研究现状 | 第13-16页 |
| ·温度控制在国内外研究发展情况 | 第14页 |
| ·无模型自适应控制算法介绍及发展应用 | 第14-16页 |
| ·模糊系统 | 第16页 |
| ·本文内容与结构安排 | 第16-18页 |
| 第二章 系统机理与模型结构 | 第18-32页 |
| ·化学反应机理 | 第18-21页 |
| ·恒温加热前准备过程 | 第18-19页 |
| ·恒温加热 | 第19-21页 |
| ·控制电流方案 | 第21页 |
| ·数学建模 | 第21-31页 |
| ·硅棒温度负载数学推导 | 第21-24页 |
| ·恒温加热电源数学模型 | 第24-29页 |
| ·双闭环控制系统数学模型 | 第29-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第三章 无模型自适应控制 | 第32-50页 |
| ·无模型自适应控制 | 第32-39页 |
| ·非线性系统紧格式动态线性化方法 | 第32-34页 |
| ·基于动态时变线性化模型的控制方法设计 | 第34-39页 |
| ·算法仿真 | 第39-47页 |
| ·基于 S-函数的仿真模块开发 | 第39-41页 |
| ·对被控对象仿真 | 第41-47页 |
| ·MFAC 改进 | 第47-49页 |
| ·MFAC 参数р 和 η分析研究 | 第47-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 第四章 基于模糊控制的无模型自适应控制 | 第50-62页 |
| ·控制系统结构 | 第50-51页 |
| ·模糊系统 FIS | 第51-58页 |
| ·输入/输出量选取 | 第51-52页 |
| ·模糊化 | 第52-54页 |
| ·模糊规则建立 | 第54-55页 |
| ·模糊推理及去模糊化 | 第55-58页 |
| ·仿真验证 | 第58-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 第五章 系统硬件设计 | 第62-73页 |
| ·电气系统简介 | 第62-63页 |
| ·控制系统硬件设计 | 第63-72页 |
| ·主回路晶闸管 | 第63页 |
| ·电压测量 | 第63-64页 |
| ·电流测量 | 第64-65页 |
| ·温度测量 | 第65页 |
| ·主电路 | 第65-66页 |
| ·PLC 控制柜 | 第66-69页 |
| ·通讯的实现 | 第69页 |
| ·晶阐管触发器电路 | 第69-72页 |
| ·小结 | 第72-73页 |
| 第六章 系统软件设计 | 第73-88页 |
| ·Step7 硬件组态 | 第73-76页 |
| ·主站硬件组态 | 第73页 |
| ·从站 I/0 组态 | 第73-74页 |
| ·MODBUS 总线桥组态 | 第74-76页 |
| ·控制算法实现 | 第76-82页 |
| ·外环算法 | 第76-81页 |
| ·内环算法 | 第81-82页 |
| ·单片机软件程序 | 第82-87页 |
| ·通讯子程序 | 第82-85页 |
| ·晶阐管门极脉冲触发子程序 | 第85-87页 |
| ·小结 | 第87-88页 |
| 第七章 总结与展望 | 第88-90页 |
| ·本文主要的工作 | 第88-89页 |
| ·后续研究工作 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 附录 A 伪偏导数程序 | 第93-95页 |
| 附录 B 控制律程序 | 第95-96页 |
