| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·飞秒激光脉冲技术的发展 | 第9-10页 |
| ·飞秒激光加工特点和优势 | 第10-11页 |
| ·激光微加工研究进展 | 第11-15页 |
| ·飞秒激光诱导自组装 | 第11-13页 |
| ·飞秒激光脉冲制备微纳结构 | 第13-15页 |
| ·本课题研究目的和意义 | 第15-17页 |
| 第2章 飞秒激光与材料的作用机制 | 第17-29页 |
| ·飞秒激光与介质的作用机制 | 第17-23页 |
| ·高斯光束的线性和非线性传输 | 第17-20页 |
| ·自聚焦 | 第20页 |
| ·多光子电离和隧道电离 | 第20-21页 |
| ·雪崩电离 | 第21页 |
| ·库仑爆炸 | 第21页 |
| ·双光子吸收理论 | 第21-23页 |
| ·飞秒激光与金属材料作用机理 | 第23-28页 |
| ·适用于飞秒激光加工过程的双温模型 | 第26-27页 |
| ·有限时域差分算法简要介绍 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 飞秒激光对 K9 玻璃加工线宽的影响 | 第29-49页 |
| ·飞秒激光三维微加工实验系统 | 第29-33页 |
| ·飞秒激光系统 | 第30-32页 |
| ·显微镜系统 | 第32-33页 |
| ·实时监测系统和三维扫描系统 | 第33页 |
| ·计算机辅助控制程序 | 第33页 |
| ·加工参量对 K9 玻璃相貌的影响 | 第33-35页 |
| ·飞秒激光脉冲烧蚀点实验 | 第34-35页 |
| ·飞秒激光烧蚀 K9 玻璃表面线宽的研究 | 第35-44页 |
| ·加工线宽与数值孔径的关系 | 第36-37页 |
| ·加工线宽与激光能量密度的关系 | 第37-42页 |
| ·加工线宽与扫描速度的关系 | 第42-44页 |
| ·实验结果数值分析 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 金膜微纳孔的飞秒激光制备 | 第49-76页 |
| ·飞秒激光透过基片与金膜的相互作用 | 第49-54页 |
| ·实验装置 | 第49页 |
| ·实验结果 | 第49-53页 |
| ·机理分析 | 第53-54页 |
| ·飞秒激光直接与金膜相互作用 | 第54-59页 |
| ·实验结果 | 第54-58页 |
| ·结果分析 | 第58-59页 |
| ·激光脉冲数对金膜表面形貌的影响 | 第59-70页 |
| ·数值孔径为 0.45 的显微物镜制备金膜孔洞的研究 | 第59-69页 |
| ·结果分析 | 第69-70页 |
| ·采用数值孔径为 0.9 显微物镜与金膜相互作用 | 第70-74页 |
| ·数值孔径为 0.9 的显微物镜制备金膜孔洞的研究 | 第70-74页 |
| ·结果分析 | 第74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第5章 金膜微米孔阵列的飞秒激光制备 | 第76-81页 |
| ·金属微米孔洞阵列制备 | 第76-78页 |
| ·金属微米孔洞阵列光谱特性检测 | 第78页 |
| ·金属微米网格阵列制备 | 第78-79页 |
| ·金属微米网格阵列光谱特性检测 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 总结 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第91页 |
| 攻读学位参加的项目 | 第91页 |