| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-22页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·太阳电池减反射膜 | 第14-17页 |
| ·太阳电池减反射膜的研究现状 | 第15-16页 |
| ·太阳电池减反射膜原理 | 第16-17页 |
| ·SiN_x、SiC 薄膜的性能与应用 | 第17-19页 |
| ·SiN_x薄膜的性能与应用 | 第17-18页 |
| ·SiC 薄膜的性能与应用 | 第18-19页 |
| ·减反射膜的制备技术 | 第19-21页 |
| ·磁控溅射原理 | 第19-20页 |
| ·磁控溅射的优缺点 | 第20-21页 |
| ·研究目的和主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 薄膜的制备与表征方法 | 第22-29页 |
| ·实验方案 | 第22页 |
| ·样品预处理 | 第22页 |
| ·薄膜的制备 | 第22-25页 |
| ·薄膜组织结构与性能检测 | 第25-27页 |
| ·X 射线衍射(XRD) | 第25页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第25-26页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第26页 |
| ·X 射线能谱仪（EDAX） | 第26-27页 |
| ·椭圆偏振仪 | 第27页 |
| ·紫外-可见分光光度计 | 第27页 |
| ·薄膜的力学性能检测 | 第27-29页 |
| ·显微硬度测量 | 第28页 |
| ·膜基结合力的检测 | 第28-29页 |
| 第三章 SiN_x薄膜的组织结构及性能分析 | 第29-48页 |
| ·SiN_x薄膜的组织结构分析 | 第29-31页 |
| ·SiN_x薄膜的化学组分分析 | 第29-30页 |
| ·SiN_x薄膜的 XRD 分析 | 第30-31页 |
| ·SiN_x薄膜表面形貌分析 | 第31-40页 |
| ·SiN_x薄膜的 SEM 形貌分析 | 第31-33页 |
| ·不同溅射功率下的 SiN_x薄膜 AFM 形貌分析 | 第33-35页 |
| ·不同溅射气压下的 SiN_x薄膜 AFM 形貌分析 | 第35-37页 |
| ·不同基底材料的 SiN_x薄膜 AFM 形貌分析 | 第37-38页 |
| ·真空退火处理前后的 SiN_x薄膜 AFM 形貌分析 | 第38-40页 |
| ·SiN_x 薄膜的力学性能分析 | 第40-42页 |
| ·SiN_x薄膜复合显微硬度分析 | 第41页 |
| ·SiN_x薄膜膜基结合力分析 | 第41-42页 |
| ·SiN_x 薄膜光学性能分析 | 第42-46页 |
| ·SiN_x薄膜的生长速率 | 第42-43页 |
| ·SiN_x薄膜的折射率 | 第43-44页 |
| ·SiN_x薄膜的透射率 | 第44-46页 |
| 本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 SiC 薄膜的组织结构及性能分析 | 第48-65页 |
| ·SiC 薄膜的组织结构分析 | 第48-50页 |
| ·SiC 薄膜的化学组分分析 | 第48-49页 |
| ·SiC 薄膜的 XRD 分析 | 第49-50页 |
| ·SiC 薄膜表面形貌分析 | 第50-57页 |
| ·SiC 薄膜的 SEM 形貌分析 | 第50-51页 |
| ·不同溅射功率下的 SiC 薄膜 AFM 形貌分析 | 第51-53页 |
| ·不同溅射气压下的 SiC 薄膜 AFM 形貌分析 | 第53-55页 |
| ·不同基底材料的 SiC 薄膜 AFM 形貌分析 | 第55-56页 |
| ·真空退火处理前后的 SiC 薄膜 AFM 形貌分析 | 第56-57页 |
| ·SiC 薄膜的力学性能分析 | 第57-59页 |
| ·SiC 薄膜复合显微硬度分析 | 第58页 |
| ·SiC 薄膜膜基结合力分析 | 第58-59页 |
| ·SiC 薄膜光学性能分析 | 第59-63页 |
| ·SiC 薄膜的生长速率 | 第59-60页 |
| ·SiC 薄膜的折射率 | 第60-61页 |
| ·SiC 薄膜的透射率 | 第61-63页 |
| 本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 SiC/SiN_x双层减反射膜设计与组织性能分析 | 第65-70页 |
| ·SiC/SiN_x双层减反射膜的设计 | 第65-66页 |
| ·SiC/SiN_x双层减反射膜的 XRD 分析 | 第66-67页 |
| ·SiC/SiN_x双层减反射膜的表面形貌分析 | 第67-68页 |
| ·SiC/SiN_x双层减反射膜的透射率分析 | 第68-69页 |
| 本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-73页 |
| ·主要结论 | 第70-71页 |
| ·后期研究展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及取得的相关科研成果 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
