基于微环谐振腔的免标记生物传感器

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-15页
·标记型和免标记型光学生物传感器	第8-11页
·谐振型生物传感器	第11-12页
·微环谐振腔生物传感器	第12页
·本文的工作	第12-15页
2 微环谐振腔理论基础	第15-24页
·微环谐振腔的结构	第15-18页
·单直波导微环谐振腔耦合模型	第18-23页
·小结	第23-24页
3 微环谐振腔的制作	第24-32页
·微环谐振腔的材料	第24-25页
·微环谐振腔的制作工艺流程	第25-26页
·光刻	第26-29页
·刻蚀	第29-30页
·微环谐振腔的扫描电镜图像	第30-31页
·小结	第31-32页
4 高精度光学测试平台构建	第32-38页
·高精度光学测试平台	第32-34页
·测试流程	第34-37页
·小结	第37-38页
5 微环谐振腔性能测试	第38-52页
·微环谐振腔的特征参数	第38-40页
·微环谐振腔对溶液折射率的探测灵敏度和探测极限	第40-48页
·微环谐振腔的生物传感特性	第48-51页
·小结	第51-52页
6 总结与展望	第52-53页
致谢	第53-54页
参考文献	第54-59页
附录1 攻读学位期间发表论文目录	第59页