| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-16页 |
| ·纳米复合薄膜的研究背景和应用前景 | 第11页 |
| ·超硬纳米复合薄膜的概念和致硬机理 | 第11-12页 |
| ·纳米复合薄膜的种类及其热稳定性 | 第12-13页 |
| ·nc-MeN/Me~*系统 | 第12-13页 |
| ·nc-MeN/a-Si_3N_4系统 | 第13页 |
| ·nc-MeN(C)/a-C系统 | 第13页 |
| ·本论文研究的背景与意义 | 第13-15页 |
| ·本论文研究的内容 | 第15-16页 |
| 第二章 实验设备与测试方法 | 第16-18页 |
| ·多靶磁控共溅系统 | 第16页 |
| ·薄膜的结构测试 | 第16页 |
| ·薄膜的化学成分及元素结合能测试 | 第16-17页 |
| ·薄膜的力学性能测试方法 | 第17-18页 |
| ·薄膜的厚度、残余应力测试 | 第17页 |
| ·薄膜的硬度测试和膜基结合力测试 | 第17页 |
| ·薄膜的摩擦性能测试 | 第17-18页 |
| 第三章 nc-B_4C/a-Ti纳米复合膜的结构与力学性能 | 第18-27页 |
| ·nc-B_4C/a-Ti纳米复合膜的制备 | 第18页 |
| ·实验参数对nc-B_4C/a-Ti纳米复合膜结构及性能的影响 | 第18-26页 |
| ·nc-B_4C/a-Ti纳米复合膜的结构表征 | 第18-20页 |
| ·nc-B_4C/a-Ti纳米复合膜的XPS测试 | 第20-23页 |
| ·实验参数对nc-B_4C/a-Ti纳米复合膜力学性能的影响及其机理研究 | 第23-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第四章 nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜的结构与力学性能 | 第27-39页 |
| ·nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜的制备 | 第27页 |
| ·实验参数对nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜结构及性能的影响 | 第27-37页 |
| ·nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜的结构表征 | 第27-29页 |
| ·nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜中各元素的XPS精细谱线 | 第29-34页 |
| ·nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜力学性能表征及其致硬机理研究 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第五章 纳米复合薄膜热稳定性的初探 | 第39-43页 |
| ·退火后薄膜的硬度变化 | 第39-41页 |
| ·退火后nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜的XRD图谱 | 第41页 |
| ·退火后nc-B_4C/a-Si_3N_4纳米复合膜中各元素的XPS精细谱线 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第六章 总结 | 第43-45页 |
| 参考文献 | 第45-50页 |
| 发表文章目录 | 第50-53页 |
| 硕士在读期间获奖情况 | 第53页 |
| 硕士在读期间参加的会议 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
