| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-24页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·ZrO_2薄膜的研究进展 | 第9-22页 |
| ·ZrO_2薄膜的成分结构 | 第9-11页 |
| ·ZrO_2薄膜的表明形貌及粗糙度 | 第11页 |
| ·ZrO_2薄膜的电学性能 | 第11-13页 |
| ·退火处理对ZrO_2薄膜的影响 | 第13-17页 |
| ·ZrO_2薄膜的生长特性及机制 | 第17-22页 |
| ·本文主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 试验材料与试验方法 | 第24-29页 |
| ·试验材料 | 第24页 |
| ·试验方法 | 第24-26页 |
| ·试验设备 | 第24页 |
| ·试验工艺 | 第24-26页 |
| ·分析测试方法 | 第26-29页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第26-27页 |
| ·X 射线光电子能谱分析 | 第27页 |
| ·表面形貌观察 | 第27页 |
| ·显微组织观察 | 第27-28页 |
| ·微观力学性能测试 | 第28页 |
| ·退火处理 | 第28-29页 |
| 第3章 正偏压作用下离子复合沉积Z102薄膜的成分及组织结构 | 第29-47页 |
| ·正偏压作用下离子复合沉积ZrO_2薄膜的成分及化学态 | 第29-37页 |
| ·正偏压作用下离子复合沉积ZrO_2薄膜的相结构 | 第37-40页 |
| ·正偏压作用下离子复合沉积ZrO_2薄膜的表面形貌 | 第40-45页 |
| ·正偏压作用下离子复合沉积ZrO_2薄膜的微观组织 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 正偏压作用下离子复合沉积Z102薄膜的硬度及弹性模量 | 第47-56页 |
| ·引言 | 第47-51页 |
| ·气体流量对ZrO_2薄膜的硬度及弹性模量的影响 | 第51-52页 |
| ·正偏压对ZrO_2薄膜的硬度及弹性模量的影响 | 第52-53页 |
| ·离子注入电压对ZrO_2薄膜的硬度及弹性模量的影响 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 退火处理对正偏压作用下离子复合沉积Z102薄膜的影响 | 第56-63页 |
| ·退火处理对成分的影响 | 第56页 |
| ·退火处理对相结构的影响 | 第56-59页 |
| ·退火处理对表面形貌的影响 | 第59-60页 |
| ·退火处理对硬度及弹性模量的影响 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
