| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-27页 |
| ·背景及意义 | 第13-14页 |
| ·研究现状 | 第14-24页 |
| ·非光学纳米测量方法 | 第15-16页 |
| ·光学纳米测量方法 | 第16-23页 |
| ·光学测量方法存在的问题 | 第23-24页 |
| ·发展趋势 | 第24-25页 |
| ·本论文的主要工作及创新点 | 第25-27页 |
| 第2章 同轴式激光干涉轮廓测量技术的理论研究 | 第27-51页 |
| ·测量系统整体结构 | 第27-28页 |
| ·同轴式激光干涉轮廓测量技术的原理 | 第28-31页 |
| ·主要光路部分设计 | 第31-49页 |
| ·光束的准直与滤波 | 第31-38页 |
| ·同轴测量系统设计 | 第38页 |
| ·参考光与测量光的光路设计 | 第38-43页 |
| ·同轴式干涉轮廓测量技术用于在线检测的考虑 | 第43-49页 |
| ·光学测头总体结构设计 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第3章 双纵模热稳频技术的研究 | 第51-84页 |
| ·激光稳频技术概述 | 第51-56页 |
| ·激光频率的稳定性和复现性 | 第51-52页 |
| ·影响激光频率稳定的因素 | 第52-54页 |
| ·常见稳频方法 | 第54-56页 |
| ·双纵模热稳频技术 | 第56-59页 |
| ·双纵模热稳频的理论分析 | 第56-57页 |
| ·双纵模热稳频系统原理 | 第57-59页 |
| ·电磁感应涡流加热稳频技术 | 第59-65页 |
| ·电磁感应涡流加热装稳频的可行性 | 第59-61页 |
| ·电磁感应涡流加热的原理 | 第61-65页 |
| ·电磁感应涡流加热稳频系统设计 | 第65-81页 |
| ·电磁感应线圈设计 | 第65-66页 |
| ·谐振电容计算 | 第66-69页 |
| ·稳频电路设计 | 第69-74页 |
| ·电磁感应加热稳频的控制算法 | 第74-81页 |
| ·电磁感应涡流加热稳频技术的特点及实验分析 | 第81-82页 |
| ·电磁感应涡流加热技术的特点 | 第81页 |
| ·稳频效果实验及比较 | 第81-82页 |
| ·小结 | 第82-84页 |
| 第4章 高频相位检测系统 | 第84-109页 |
| ·相位的概念 | 第84-85页 |
| ·常见相位测量的原理和方法 | 第85-90页 |
| ·矢量法 | 第85页 |
| ·乘法器法 | 第85-86页 |
| ·可变延迟线法 | 第86-87页 |
| ·取样混频法 | 第87页 |
| ·过零鉴相法 | 第87-88页 |
| ·相关分析法 | 第88-90页 |
| ·高频相位测量的原理和方法 | 第90-94页 |
| ·高频相位测量方法研究 | 第94-100页 |
| ·AD8302测量的基本原理 | 第95-96页 |
| ·AD8302的功能结构 | 第96-97页 |
| ·AD8302的测量工作模式 | 第97-98页 |
| ·相位差正负的判断 | 第98-100页 |
| ·延迟线移相系统 | 第100页 |
| ·提高相位测量精度与抗干扰措施 | 第100-107页 |
| ·相位测量精度的提高 | 第100-102页 |
| ·滤波电路 | 第102-107页 |
| ·小结 | 第107-109页 |
| 第5章 轮廓仪精度分析 | 第109-126页 |
| ·非线误差分析 | 第109-119页 |
| ·产生非线性的原因 | 第109-111页 |
| ·由激光偏振态不理想引起的非线性 | 第111-113页 |
| ·光学元件对非线性的影响 | 第113-117页 |
| ·激光器光线偏振轴与冰洲石晶体偏振轴不垂直或不重合而引起的非线性 | 第117-118页 |
| ·非线性误差的合成 | 第118-119页 |
| ·系统参数不稳定产生的误差分析 | 第119-122页 |
| ·双频激光平均频率的漂移造成的误差 | 第119-120页 |
| ·系统程差变化造成的误差 | 第120页 |
| ·双频激光差频的漂移造成的误差 | 第120页 |
| ·高斯光束干涉附加项的变化造成的误差 | 第120-121页 |
| ·相位计产生的误差 | 第121页 |
| ·系统参数不稳定性的误差的合成 | 第121-122页 |
| ·其它因素对测量结果的影晌 | 第122-124页 |
| ·测量臂和参考臂在通过分光镜后光轴不重合引起的误差 | 第122页 |
| ·测量光束斜入射的影响 | 第122-124页 |
| ·激光器噪声对测量结果的影响 | 第124页 |
| ·系统总体误差 | 第124页 |
| ·小结 | 第124-126页 |
| 第6章 实验与分析 | 第126-139页 |
| ·垂直分辨率测试 | 第129-131页 |
| ·不确定度测试 | 第131-133页 |
| ·横向分辨力测试 | 第133-135页 |
| ·对比测试 | 第135-139页 |
| 第7章 结论 | 第139-143页 |
| ·轮廓仪光路设计方面 | 第139页 |
| ·双频激光热稳频方面 | 第139-140页 |
| ·相位测量方面 | 第140页 |
| ·轮廓仪总体方面 | 第140页 |
| ·后续有待开展的研究工作 | 第140-141页 |
| ·研究工作的创新点 | 第141-143页 |
| 参考文献 | 第143-148页 |
| 作者在读期间科研成果简介 | 第148-149页 |
| 声明 | 第149-150页 |
| 致谢 | 第150页 |