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多模干涉耦合器集成的V型耦合腔激光器研究

致谢第4-5页
摘要第5-6页
Abstract第6页
1 绪论第9-19页
    1.1 波长可调谐半导体激光器第9-11页
    1.2 单片集成技术第11-13页
        1.2.1 端对接技术第12页
        1.2.2 选择区域外延技术第12页
        1.2.3 偏置量子阱技术第12-13页
        1.2.4 量子阱混杂技术第13页
        1.2.5 多波导垂直集成技术第13页
    1.3 可调谐全光波长转换技术第13-17页
        1.3.1 全光波长转换技术(AOWC)第13-15页
        1.3.2 单片集成可调谐全光波长转换技术第15-17页
    1.4 本论文章节安排及创新点第17-19页
        1.4.1 论文章节安排第17页
        1.4.2 论文创新点第17-19页
2 耦合器出光的V型耦合腔激光器的设计第19-40页
    2.1 V型耦合腔激光器的基本结构和工作原理第19-30页
        2.1.1 游标效应第19-21页
        2.1.2 半波耦合器第21-24页
        2.1.3 阈值条件第24页
        2.1.4 两腔光场进入半波耦合器的相位差第24-30页
    2.2 耦合器端出光V型耦合腔激光器的设计第30-40页
        2.2.1 激光器参数的设计第30-35页
        2.2.2 带角度的多模干涉耦合器的设计第35-40页
3 V型耦合腔激光器的制作及测试第40-57页
    3.1 关键工艺步骤第40-44页
        3.1.1 光刻第40-41页
        3.1.2 刻蚀第41-42页
        3.1.3 剥离第42页
        3.1.4 量子阱混杂第42-44页
    3.2 器件测试平台第44-45页
        3.2.1 有源直流测试平台第44页
        3.2.2 无源测试平台第44-45页
        3.2.3 光致发光(PL)谱测试平台第45页
    3.3 InGaAlAs材料器件测试第45-52页
    3.4 InGaAsP材料器件的制作与测试第52-57页
        3.4.1 带混杂的器件的制作第52-54页
        3.4.2 InGaAsP材料器件的测试第54-57页
4 基于V型耦合腔激光器的全光波长转换第57-66页
    4.1 器件的结构及工作原理第57-58页
    4.2 基于时域行波模型的仿真第58-66页
        4.2.1 时域行波模型第58-60页
        4.2.2 仿真用的参数第60-61页
        4.2.3 静态仿真结果第61-63页
        4.2.4 动态仿真结果第63-66页
5 总结和展望第66-68页
    5.1 本文总结第66页
    5.2 工作展望第66-68页
参考文献第68-72页
附录第72页
    作者简介第72页
    成果附录第72页

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