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BST热释电薄膜非制冷红外单元探测器的结构设计与性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第一章 前言第8-16页
   ·课题研究的背景第8-9页
   ·BST热释电薄膜非制冷红外探测器工作原理与研究现状第9-15页
     ·热释电效应及探测器原理第9-12页
     ·国内外研究状况第12-15页
   ·课题研究的意义第15页
   ·本论文的主要工作第15-16页
第二章 BST热释电薄膜非制冷单元探测器的结构设计第16-31页
   ·红外探测器的性能分析第16-24页
     ·红外探测器的主要性能指标第16-17页
     ·理论分析第17-21页
     ·混合式与单片式的性能比较第21-22页
     ·BST热释电薄膜红外探测器实际设计中兼顾的问题第22-24页
   ·BST热释电薄膜非制冷单元探测器的结构设计第24-27页
     ·热绝缘结构的分析与设计第24-26页
     ·吸收层的选用第26-27页
   ·BST热释电薄膜非制冷单元探测器的结构参数确定第27-28页
   ·制备流程第28-30页
   ·本章小结第30-31页
第三章 非制冷热释电探测器的器件性能评估与测试第31-48页
   ·热释电探测器的噪声分析第31-34页
   ·电压响应率R_V与探测率 D*第34-35页
   ·测试系统的搭建第35-40页
     ·测试仪器简介第36-37页
     ·测试过程中关键技术的解决第37-40页
   ·结果分析第40-47页
   ·本章小结第47-48页
第四章 结论第48-49页
参考文献第49-52页
致谢第52-53页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第53页

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