摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
第一章 前言 | 第8-16页 |
·课题研究的背景 | 第8-9页 |
·BST热释电薄膜非制冷红外探测器工作原理与研究现状 | 第9-15页 |
·热释电效应及探测器原理 | 第9-12页 |
·国内外研究状况 | 第12-15页 |
·课题研究的意义 | 第15页 |
·本论文的主要工作 | 第15-16页 |
第二章 BST热释电薄膜非制冷单元探测器的结构设计 | 第16-31页 |
·红外探测器的性能分析 | 第16-24页 |
·红外探测器的主要性能指标 | 第16-17页 |
·理论分析 | 第17-21页 |
·混合式与单片式的性能比较 | 第21-22页 |
·BST热释电薄膜红外探测器实际设计中兼顾的问题 | 第22-24页 |
·BST热释电薄膜非制冷单元探测器的结构设计 | 第24-27页 |
·热绝缘结构的分析与设计 | 第24-26页 |
·吸收层的选用 | 第26-27页 |
·BST热释电薄膜非制冷单元探测器的结构参数确定 | 第27-28页 |
·制备流程 | 第28-30页 |
·本章小结 | 第30-31页 |
第三章 非制冷热释电探测器的器件性能评估与测试 | 第31-48页 |
·热释电探测器的噪声分析 | 第31-34页 |
·电压响应率R_V与探测率 D* | 第34-35页 |
·测试系统的搭建 | 第35-40页 |
·测试仪器简介 | 第36-37页 |
·测试过程中关键技术的解决 | 第37-40页 |
·结果分析 | 第40-47页 |
·本章小结 | 第47-48页 |
第四章 结论 | 第48-49页 |
参考文献 | 第49-52页 |
致谢 | 第52-53页 |
攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第53页 |